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CVD法制備納米及超細(xì)微球的技術(shù)研究

閱讀:151      發(fā)布時間:2025-03-17
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化學(xué)氣相沉積法(CVD)

化學(xué)氣相沉積法是利用氣體原料在氣相下發(fā)生化學(xué)反應(yīng),控制溫度、氣速、反應(yīng)氣壓等條件下形成納米粒子,經(jīng)過成核和核成長兩個過程制備材料的方法。


Wang等使用天然氣作為碳源,使用過渡金屬或稀止金屬氧化物作為催化劑,用化學(xué)氣相沉積法制備炭微球。研究發(fā)現(xiàn)當(dāng)溫度加熱到1100℃時,可制備出粒徑約為210nm的炭微球。Serp等以CH4和H2混合器為原料,金屬鐵為催化劑,在1100℃制備出粒徑分布在100-300nm的炭微球。


Miao等使用含有過渡金屬的高嶺王催化化學(xué)沉積法,可在高于650℃的溫度下,大批量制備出粒徑在400-2000nm的炭微球,并且微球可分別通入N2和C2H2來進行提純和分離。


微球在空氣中具有熱穩(wěn)定性,在低于500℃、N2氣氛氛圍下也沒有吸熱和放熱現(xiàn)象發(fā)生。由于CVD法制備炭微球需要的溫度較高,合成的離子易團聚,研究人員在其基礎(chǔ)上又開發(fā)了等離子體CVD、激光CVD等方法。


化學(xué)氣相沉積法制備的微球團聚現(xiàn)象比較嚴(yán)重,因此粒徑分布較寬,而且制備的微球表面都比較粗糙。








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