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蘇州量子儀器有限公司
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影響涂層測厚儀測量因素簡析

時(shí)間:2015-3-30閱讀:3465
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1、基體金屬磁性 磁性法測厚受基體金屬磁性變化的影響(在實(shí)際應(yīng)用中,低碳鋼磁性的變化可以認(rèn)為時(shí)輕微的)。為了避免熱處理、冷加工等因素的影響,應(yīng)使用與試件金屬具有相同性質(zhì)的鐵基片對儀器進(jìn)行校準(zhǔn)。

2、基體金屬厚度 每種儀器都有個(gè)基體金屬的臨界厚度。大于這個(gè)厚度測量不受基體厚度的影響。

3、邊緣應(yīng) 本儀器對試片表面形狀的陡變敏感。因此在靠近試片邊緣或內(nèi)轉(zhuǎn)角處進(jìn)行測量是不可靠的。

4、曲率 試件的曲率對測量有影響,這種影響總是隨著曲率半徑的減小明顯地增大。因此不應(yīng)在試件超過允許的曲率半徑的彎曲面上測量。

5、表面粗糙度 基體金屬何覆蓋層的表面粗糙度對測量有影響。粗糙度增大,影響增大。粗糙表面會(huì)引起系統(tǒng)誤差何偶然誤差。每次測量時(shí),在不同位置上應(yīng)增加測量的次數(shù),以克服這種偶然誤差。如果基體金屬粗糙,還須在未屠夫的粗糙度相類似的基體金屬試件上取幾個(gè)位置校對儀器的零點(diǎn);或用沒有腐蝕性的溶液除去基體金屬覆蓋層,再校對儀器的零點(diǎn)。

6、磁場 周圍各種電氣設(shè)備所產(chǎn)生的磁場,會(huì)嚴(yán)重地干擾磁性法測量厚度的工作。

7、附著物質(zhì) 本儀器對那些妨礙探頭與覆蓋層表面緊密接觸的附著物質(zhì)敏感。因此須附著物質(zhì),以探頭與覆蓋層表面直接接觸。

8、探頭壓力 探頭置于試件上施加的壓力大小會(huì)影響測量的讀數(shù)。因此本儀器探頭用彈簧保持個(gè)基本恒定的壓力。

9、探頭的放置 探頭的放置方式對測量有影響。在測量中,應(yīng)當(dāng)使探頭與試樣表面保持垂直。

10、試件的變形 探頭使軟覆蓋層試件變形。因此在這些試件上會(huì)測出不太可靠的數(shù)據(jù)。 讀數(shù)次數(shù) 通常儀器的每次讀數(shù)并不相同。因此須在每測量面積內(nèi)取幾個(gè)讀數(shù),覆蓋層厚度的局部差異,也要求在給定的面積內(nèi)進(jìn)行多次測量。表面粗糙時(shí)*應(yīng)如此。
 

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