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Park Systems原子力顯微鏡 XE-15

儀器簡介:

    Park XE-15具有全面的樣品兼容性。其多種樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，為不同尺寸、形狀、數(shù)量的樣品提供了方便可靠的測試環(huán)境。解耦合的閉環(huán)XY掃描器，消除了彎曲效應(yīng)誤差，提供了的線性度。真正的非接觸掃描模式，擴(kuò)大了適合樣品種類，同時(shí)極大地延長了探針壽命，降低了使用成本。

Park Systems原子力顯微鏡 XE-15技術(shù)參數(shù)：

掃描器

XY掃描器

柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器

掃描范圍100μm*100μm（可選50μm*50μm）

平面偏移度:<2nm（40μm*40μm掃描）

Z掃描器

柔性制導(dǎo)強(qiáng)力掃描器

掃描范圍12μm（可選25μm）

共振頻率：>5kHz

表面成像噪聲：0.03nm

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)種類：16位點(diǎn)樣品臺(tái)/150mm直徑真空吸附臺(tái)（可選200mm直徑真空吸附臺(tái)）

樣品尺寸： 150mm*150mm*20mm

樣品重量：zui大500g

樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：150mm*150mm（可選200mm*200mm）

Park Systems原子力顯微鏡 XE-15主要特點(diǎn)：

一、創(chuàng)新的多位點(diǎn)樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，提供工作效率

●一次操作zui多可以掃描16個(gè)樣品

●樣品安放簡單，掃描迅速

●極大提高了數(shù)據(jù)的精確性和重復(fù)性

二、支持超大樣品，滿足業(yè)界發(fā)展需要

●zui大支持200 mm晶圓，滿足用戶目前和今后的需要

●滿足半導(dǎo)體相關(guān)用戶實(shí)際需要的專門設(shè)計(jì)

三、豐富的功能模式選擇

●完善支持各種SPM功能

●支持多種選配測量模式

●支持各種可選配件，擴(kuò)展性能*