型 號

VideoCheck-EA

測量范圍

(X-軸)

400～2000mm(可選)

(Y-軸)

400～1350mm(可選)

(Z-軸)

50/200/300/400mm

zui大允許測量誤差¹⁾

(E1單軸精度）

(0.3+L(mm)/900)µm

(E2平面精度）

(0.70+L(mm)/600)µm

(E3空間精度）

(1.50+L(mm)/500)µm

分辨率

0.05µm

工作臺承重

150kg(300kg可選)

定位速度

300mm/s

加速度

1000mm/s²

頻率

48-62Hz

氣壓

7-10 bar

功耗

2500VA

儀器重量

1000-6000kg

精度保證環(huán)境條件¹⁾

20℃±0.5^o Δ=0.25 ^o/h

精度保證環(huán)境條件²⁾

20℃±1 ^o Δ=1^o/h

精度檢定光學放大倍率

10X

濕度

40-70rel.

空氣指標

max.0.05mg/m³

適用溫度

10-35℃