PHEMOS-1000是一款高分辨率的微光顯微鏡，通過偵測半導體缺陷引起的微弱的光發(fā)射和熱發(fā)射來準確定位半導體器件的失效位置。
設(shè)備既可以與通用型探針臺組合使用，也可搭載濱松Tilt Stage配合Nano Lens進行動態(tài)失效分析。

PHEMOS-1000支持從Probe Card到12英寸大尺寸晶圓的多種任務(wù)和應用范圍需求。

產(chǎn)品配置（可選配）

● 激光掃描系統(tǒng)

● 高靈敏度近紅外相機進行光發(fā)射分析

（根據(jù)客戶樣品特點對不同波長范圍的光發(fā)射探測可以選配不同型號相機，InGaAs, C-CCD, Si-CCD, Emmi-X）

● 高靈敏度中紅外Thermal相機進行熱分析
● 激光誘導阻值變化分析（OBIRCH）

● D-lock in

● Thermal Lock in

● EOP/EOFM
● Tilt Stage
● Nano Lens 進行高分辨率、高靈敏度分析
● Navigation功能
● 連接測試機進行動態(tài)分析
● Laser Marker

外形尺寸