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| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 综合 |
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LAMBDA拉姆达日本光谱膜厚仪分光膜厚测量
分光膜厚测量 TFW-100（1）/（2）/（3）
这是工业领域的低成本光谱膜厚测量设备。
由于它是非接触式和非破坏性的，因此可以在短时间内轻松测量而不会损坏样品。
它广泛用于研发和在线质量控制中的膜厚测量。
以低廉的价格实现了高精度和高稳定性。
LAMBDA拉姆达日本光谱膜厚仪分光膜厚测量 <特点>
?可进行非接触式、非破坏性的膜厚测量。
?厚度为 10nm~1000μm，可支持多达 3 层的膜厚测量。
?不仅可以测量薄膜厚度，还可以测量光学倍增器（n、k）。
（最多 3 个参数）
? 与微小点兼容。
?还可以测量彩色滤光片颜料膜的厚度。
■ 规格
| 类型 | TFW-100型 （1） | TFW-100型 （2） | TFW-100型 （3） | |||||||||||||||||||||||||||||||
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| 用 | 用于 ITO 等薄膜 | 一般用于薄膜厚度 | 彩色滤镜颜料用于 薄膜厚度 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 测量的薄膜厚度 | 数量：10nm ~ 500nm （C/F）， 500nm ~ 15μm （FFT） | 150nm~1.5μm（C/F） 1.5μm~60μm（FFT） | 500nm~10μm（C/F） | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 测量可重复性 | 0.2%~1%（取决于薄膜质量） | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 测量波长 | 300纳米~1000纳米 | 400 纳米~700 纳米 | 900纳米~1600纳米 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 光源 | 12V-100W 卤素灯 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 测量软件 | TF-Lab （曲线拟合 / FFT） | |||||||||||||||||||||||||||||||||
■ 膜厚测量的应用实例
| （1） 与晶圆输送机相结合的自动测量 | （2） 使用带有 XYZ 平台的样品测量台进行测量 | |
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