HORIBA堀场在线监控椭偏仪灵敏度高

UVISEL Plus在线监控椭偏仪可以很容易的安装在各类反应腔（PECVD、MOCVD、磁控溅射、蒸镀、ALD和MBE），实时监控薄膜沉积或刻蚀过程。

HORIBA堀场在线监控椭偏仪灵敏度高UVISEL Plus在线椭偏仪结合了速度快、灵敏度高、动态范围宽和准确等优点，使其能够在原子层水平监控沉积/刻蚀，即使过程速度比较快也可实现。

采用新型适配器组件可以实现台式设备和在线系统的切换。

UVISEL Plus在线椭偏仪使用DeltaPsi2软件驱动，该软件适用于HORIBA所有椭偏仪。DeltaPsi2具有众多先进的建模和拟合处理功能，操作界面简单，可为研究者提供便捷的椭偏分析手段。先进的通讯协议，TCP/IP和RS232已被设计用于生产环境和OEM。

• 高速、准确

• 完整集成了实时测量、建模和报告软件包

• 便于在线和离线间切换

可获得的信息

• 薄膜厚度

• 光学常数（n,k）

• 材料组成

各类日系工业品:,SSD西西蒂(离子风扇)、AND爱安得（电子天平）、SAN-EI三英(点胶阀） HOYA光源,KURABO脱泡机,USHIO牛尾照度计,Tsubosaka壶坂电机,IMV爱睦威,PISCO匹士克接头,hakko八光电机,lambda拉姆达膜厚仪,MUSASHI武藏,SAKURAI樱井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚仪、粒度仪）,Hitachi日立（扫描电镜）,MIKASA米卡萨（旋涂设备、显影）、POLARION普拉瑞、AITEC艾泰克（检查光源）、Iwasaki岩崎、OTSUKA大塚电子（光学膜厚仪）、KOSAKA小坂（台阶仪）、HORIBA堀场仪器（分析仪）、SIBATA柴田科学（环境测定）、TORAY东丽浓度仪（氧气分析仪）、yamada山田卤素强光灯、CEDAR思达