YAMADA山田光学 晶圆实验设备灯管

半导体晶圆检查灯是半导体制造过程中的专业照明设备，专门设计用于晶圆生产过程中的缺陷检测和质量控制环节。随着半导体工艺节点不断缩?。ù游⒚准斗⒄沟较衷诘哪擅准叮跃г脖砻嫒毕莸募觳庖笤嚼丛礁?，专业的检查照明系统成为确保芯片良率的关键因素之一。

现代半导体晶圆检查灯采用优良的光学技术和精密的光源设计，能够提供均匀、稳定且特定波长的高质量照明，帮助检测人员或自动光学检测(AOI)系统识别晶圆表面的微粒污染、划痕、图案缺陷、残留物等各种异常情况。这些设备通常集成在洁净室环境中，满足半导体制造对洁净度和稳定性的严苛要求。

半导体晶圆检查灯的特点

1. 精密光谱控制

半导体晶圆检查灯具备精确的光谱控制能力，可提供特定波长的单色光或多色光组合。不同波长的光对各类缺陷的显现效果不同，例如短波长光（如紫外或深蓝光）对微小颗粒和表面拓扑结构更敏感，而长波长光可能更适合检测某些薄膜缺陷。

2. 高均匀性照明

检查灯设计确保照明区域内的光强分布高度均匀，通常均匀性可达90%以上，避免因照明不均导致的检测误差。优良的导光技术和光学扩散系统是实现这一特性的关键。

3. 可调光强与稳定输出

设备提供宽范围的光强调节功能，同时保持出色的光强稳定性（通常波动小于1%），确保长时间检测过程中的一致性，避免因光强波动导致的误判。

4. 多角度照明设计

专业的晶圆检查灯常配备多角度照明选项，包括同轴光、环形光、侧向光、暗场照明等不同模式，以适应不同类型缺陷的检测需求。例如，同轴光适合表面污染检测，而暗场照明对划痕和拓扑缺陷更敏感。

5. 洁净室兼容性

检查灯采用无尘设计，材料选择上避免产生微粒污染，符合ISO 14644-1洁净室标准。同时具备低发热特性，减少热对流对洁净室气流的影响。

6. 智能化控制

现代设备配备数字控制系统，支持预设照明方案、自动调节、远程控制等功能，并能与自动检测系统无缝集成，实现高效的工作流程。

YAMADA山田光学 晶圆实验设备灯管

YAMADA山田光学高亮度卤素光源设备YP-150I  

YAMADA山田光学高亮度卤素光源设备YP-250I  

YP-150I 高亮度卤素射镜

用于Si薄片，玻璃表面的瑕疵检查的照明光源，微小瑕疵也可被检测出来

日本山田光学YP-150I/250I高亮度卤素射镜  

日本山田光学YP-150I/250I高亮度卤素射镜

日本山田光学YAMADA高照度卤素强光灯YP-150I/YP-250I

高亮度鹵素光源設備

是宏観観察用的照明設備，可検測各種缺陥如半導体晶片及液晶基板加工中費人工的成形製品表面
的異物、刮痕、抛光不均、霧状、划傷等。

概要

　　1.　可照明様品表面範囲於400.000Lx以上。

　　2.　因使用鹵素光源灯的光源，具有色温度高、光照不均的減少及非常穏定鋭利照明的特性。
　　　　

　　3.　冷反射鏡受熱影響是鋁鏡的1/3
　　　　

　　4.　二段切換構造，可用按扭切換高照明観察及低照明観察。
　　　　
　　　　YP-150I???照度範囲　φ30
　　　　YP-250I???照度範囲　φ60
　　　?。╕P-250I的通風機可選択螺旋式風扇或管道通風機形）

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