温控模块

冷热方式

液氮致冷，电阻加热

温控范围

-190～600℃ *

温度稳定性

±0.1℃ *

温度分辨率

0.1℃

升降温速率

0~30℃/min（可定点   / 程序段控温）

温控方式

PID

温度传感器

PT100 

光学特性

光路

反射光路 *可升级为透射光路

视窗材质

石英玻璃   *

视窗尺寸

Φ25mm *

物镜工作距离

12.5mm *

透光孔

默认无透光孔   *可升级透光孔

视窗除霜

负温下吹气除霜

电学特性

探针

电控位移探针x2   *

探针接口

BNC接口x2 *

样品台面电位

默认电悬空   *可选电接地

结构特性

样品台尺寸

23×23mm *

样品台材质

银质   *

外形尺寸

110×170×45mm *

样品腔高度

10.5mm *

XYZ位移行程

±6mm

探针位移精度

5nm

腔室

气密   *可升级真空

基本配置

电控探针冷热台x1、温度控制器x1、致冷控制器x1（低温配置）、液氮罐x1（低温配置）、温控软件x1、循环水系统x1（高温配置）、连接管路若干

选配

电脑主机/安装支架/真空系统/三同轴BNC/定制温控软件

备注

以上均为默认参数    * 为可定制项