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SDX600KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵
参考价: 12000
订货量: 1
具体成交价以合同协议为准
  • SDX600 产品型号
  • KASHIYAMA/日本 品牌
  • 经销商 厂商性质
  • 成都市 所在地

访问次数:167更新时间:2025-05-28 14:41:40

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产品简介
泵轴位置 其他 输送介质 其他
叶轮数目 其他 应用领域 综合
KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDX600
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。
产品介绍

KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDX600


KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 SDX600

干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是指无需任何工作液(如油或水)作为介质,依靠机械结构实现抽真空的一类真空获得设备。这类泵通过精密配合的机械部件直接压缩和排出气体,解决了传统油封式或液环式真空泵存在的介质污染问题。干式真空泵的发展始于20世纪80年代,随着半导体、光伏等洁净工业的需求而快速进步,现已成为高科技制造领域不可替代的关键设备。

干式真空泵的典型应用

(一)半导体制造

晶圆加工:刻蚀、CVD、PVD工艺

离子注入:束线系统真空维持

光刻机:EUV光源腔体抽真空

(二)平板显示行业

OLED蒸镀:高纯真空环境建立

LCD制造:液晶灌注系统

触摸屏生产:真空贴合工艺

(三)光伏产业

太阳能电池:PECVD工艺

薄膜电池:真空镀膜系统

组件封装:层压机抽真空

(四)科研领域

同步辐射:光束线真空系统

电镜系统:样品室抽真空

空间模拟:环境模拟舱抽气

(五)其他应用

医疗设备:质子治疗加速器

锂电池制造:极片干燥系统

食品包装:无菌包装生产线

型号*1SDX600型SDT600 系列SDX1200SDT1200SDX1800SDT1800SDH3000*5SDH6000*5
最大抽速
[L/min]*2 *6
10,00018,00019,00030,00050,000100,000
极限压力
[Pa] *2
0.50.30.5
电源电压 (50/60Hz)三相 AC200~220V*7
N2流速 [SLM]0~800~120
冷却水流量 [L/min]3.04.03.04.03.04.04.04.0
功耗[kW]*31.53.01.653.152.13.33.33.7
外形尺寸 [mm]*4L6956958509101050
W285285380420515
H850850950900950


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