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MC-5460LLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價: | ￥ 25130 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- MC-5460L 產(chǎn)品型號
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：58更新時間：2025-03-26 15:14:26
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5460L
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5460L
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關鍵工業(yè)設備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動化過程控制的核心組件，MFC通過將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體，實現(xiàn)對流體流量的高精度閉環(huán)控制，典型控制精度可達±0.5%～±1.0%滿量程（FS）。
質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進行流量的控制。
產(chǎn)品核心優(yōu)勢
精準控制能力：
采用自適應PID算法，在10%-100%量程內(nèi)保持線性度±0.5%
零漂移補償技術，長期穩(wěn)定性<±0.5%/年
材料兼容性：
流道材料可選316L不銹鋼、哈氏合金、PTFE等
通過NACE MR0175酸性環(huán)境認證
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
關鍵性能指標
參數(shù)標準型號高性能型號
量程范圍0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM
控制精度±1.0% FS±0.5% RD
重復性±0.2% FS±0.1% FS
響應時間<1s<300ms
工作壓力0.1-0.5MPa真空-10MPa
溫度系數(shù)±0.05%/℃±0.01%/℃
氣體隔膜隔離閩體及驅(qū)動裝置，極大地減小閉死容積。這些特殊設計，可以增強氣體的流通，降低污染物影響，使設備具備高澄換性，保證更長的使用壽命，也更適合于液化氣體等優(yōu)勢。
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