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當(dāng)前位置：曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司>>實驗室儀器及設(shè)備>>恒溫器>> LAUDA Semistat熱電式過程恒溫器
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號LAUDA Semistat
品 牌LAUDA/勞達(dá)
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地上海市
更新時間：2025-06-26 15:22:10瀏覽次數(shù)：65次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥,電氣,綜合 |
LAUDA Semistat 是一款基于熱電制冷（Peltier）技術(shù)的高性能熱電式過程恒溫器，專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計。該系列設(shè)備提供 –20?°C 至 +90?°C 的溫控范圍，適用于等離子刻蝕（Plasma Etching）等高精度溫控應(yīng)用。與傳統(tǒng)壓縮機制冷系統(tǒng)相比，Semistat 系統(tǒng)能效更高、體積更小，非常適合安裝于潔凈室地板下，節(jié)省空間并降低能耗。
節(jié)能環(huán)保：無壓縮機和制冷劑，能效高，能耗低。
緊湊設(shè)計：行業(yè)內(nèi)最小占地面積，適合地下安裝，節(jié)省潔凈室空間。
快速響應(yīng)：動態(tài)溫控系統(tǒng)，溫度穩(wěn)定性高達(dá) ±0.1?K。
低液量：極低的熱傳導(dǎo)液體量，減少能量損耗。
兼容性強：支持多種刻蝕設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn)。
模塊化設(shè)計：便于現(xiàn)場維護和模塊更換。
| 型號 | 工作溫度 | 最高工作溫度 | 最大加熱功率 | 20?°C 時制冷功率 | 最大泵流量（壓力） | 外形尺寸（寬×深×高） | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Semistat S 1200 | –20?°C | +90?°C | 3?kW | 1.2?kW | 18.9?L/min（0.274?MPa） | 116?×?232?×?470?mm | 25?kg |
| Semistat S 2400 | –20?°C | +90?°C | 6?kW | 2.45?kW | 同上 | 116?×?300?×?560?mm | 35?kg |
| Semistat S 4400 | –20?°C | +90?°C | 12?kW | 4.4?kW | 同上 | 194?×?300?×?560?mm | 55?kg |
半導(dǎo)體制造：用于晶圓刻蝕過程中的溫控，確?？涛g質(zhì)量。
實驗室研究：為科研設(shè)備提供精確的溫控支持。
潔凈室系統(tǒng)：節(jié)省空間并降低能耗，適合潔凈室環(huán)境。
高精度制造：滿足對溫控精度要求高的制造工藝。
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