KASHIYAMA MU100XE 干式真空泵

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MU100XE 干式真空泵 是日本樫山工業(yè)（KASHIYAMA）MU-XE 系列中的高性能干式真空泵，專為半導(dǎo)體、液晶顯示器、LED 和光伏行業(yè)設(shè)計(jì)，具備無油潔凈、節(jié)能環(huán)保、結(jié)構(gòu)緊湊、易于維護(hù)等優(yōu)勢(shì)。憑借其可靠的性能和穩(wěn)定的運(yùn)行能力，MU100XE 已廣泛應(yīng)用于多種嚴(yán)苛的工藝環(huán)境中。

技術(shù)參數(shù)

• 抽速：1660 L/min

• 極限壓力：1.5 Pa

• 電源：三相 AC 200–220V，50/60Hz

• 功耗：約 0.25 kW

• 尺寸：450 × 230 × 275 mm

• 重量：約 60 kg

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 無油干式設(shè)計(jì)：無需油封，避免油蒸汽污染，特別適合潔凈室和敏感工藝環(huán)境。

• 高抽速、低能耗：優(yōu)化的Roots轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，提供高達(dá)1660 L/min的穩(wěn)定抽速，節(jié)能高效。

• 結(jié)構(gòu)緊湊，易集成：體積小巧，適用于空間受限的自動(dòng)化設(shè)備或成套系統(tǒng)集成。

• 超低維護(hù)成本：部件壽命長，維護(hù)周期延長，降低運(yùn)營成本。

• 適配性強(qiáng)：可兼容多種工藝氣體環(huán)境，適用于CVD、PVD、刻蝕、封裝等多種工藝流程。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制造設(shè)備（刻蝕、沉積、蝕刻等）

• 液晶顯示器（LCD）生產(chǎn)線

• 太陽能光伏組件制造

• LED 芯片制造

• 電子封裝與測(cè)試設(shè)備

• 真空鍍膜和涂層系統(tǒng)