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曦源科學(xué)儀器(上海)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第1年

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MU100XE 干式真空泵

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌KASHIYAMA/日本

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

更新時(shí)間:2025-05-20 11:35:45瀏覽次數(shù):187次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品類型 無油泵
價(jià)格區(qū)間 面議 儀器種類 真空泵
應(yīng)用領(lǐng)域 食品/農(nóng)產(chǎn)品,能源,制藥/生物制藥,綜合
KASHIYAMA MU100XE 干式真空泵,適用于半導(dǎo)體、LED、液晶等高潔凈工藝。無油設(shè)計(jì),穩(wěn)定高效,支持高強(qiáng)度連續(xù)運(yùn)行。

KASHIYAMA MU100XE 干式真空泵

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MU100XE 干式真空泵 是日本樫山工業(yè)(KASHIYAMA)MU-XE 系列中的高性能干式真空泵,專為半導(dǎo)體、液晶顯示器、LED 和光伏行業(yè)設(shè)計(jì),具備無油潔凈、節(jié)能環(huán)保、結(jié)構(gòu)緊湊、易于維護(hù)等優(yōu)勢(shì)。憑借其可靠的性能和穩(wěn)定的運(yùn)行能力,MU100XE 已廣泛應(yīng)用于多種嚴(yán)苛的工藝環(huán)境中。

技術(shù)參數(shù)

  • 抽速:1660 L/min

  • 極限壓力:1.5 Pa

  • 電源:三相 AC 200–220V,50/60Hz

  • 功耗:約 0.25 kW

  • 尺寸:450 × 230 × 275 mm

  • 重量:約 60 kg

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 無油干式設(shè)計(jì):無需油封,避免油蒸汽污染,特別適合潔凈室和敏感工藝環(huán)境。

  • 高抽速、低能耗:優(yōu)化的Roots轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu),提供高達(dá)1660 L/min的穩(wěn)定抽速,節(jié)能高效。

  • 結(jié)構(gòu)緊湊,易集成:體積小巧,適用于空間受限的自動(dòng)化設(shè)備或成套系統(tǒng)集成。

  • 超低維護(hù)成本:部件壽命長,維護(hù)周期延長,降低運(yùn)營成本。

  • 適配性強(qiáng):可兼容多種工藝氣體環(huán)境,適用于CVD、PVD、刻蝕、封裝等多種工藝流程。

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體制造設(shè)備(刻蝕、沉積、蝕刻等)

  • 液晶顯示器(LCD)生產(chǎn)線

  • 太陽能光伏組件制造

  • LED 芯片制造

  • 電子封裝與測(cè)試設(shè)備

  • 真空鍍膜和涂層系統(tǒng)



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