Kashiyama NeoDry 36E 干式真空泵

產(chǎn)品概述

NeoDry 36E 是日本 Kashiyama（樫山工業(yè)）研發(fā)制造的一款高性能干式真空泵，專為對(duì)潔凈度和真空穩(wěn)定性要求較高的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。其無(wú)油、低振動(dòng)、氣鎮(zhèn)功能強(qiáng)等特性，使其廣泛應(yīng)用于科研儀器、分析設(shè)備、精密制造及半導(dǎo)體行業(yè)。

技術(shù)參數(shù)

• 最大抽速：600 L/min（21.2 CFM）

• 極限真空度：≤ 1 Pa（7.5 mTorr）

• 接口規(guī)格：進(jìn)氣口 NW40，排氣口 NW25

• 允許最大進(jìn)氣壓力：大氣壓

• 處理水蒸氣能力：最大 350 g/h（配合氣鎮(zhèn)使用）

• 噪音水平：≤ 58 dB(A)

• 電機(jī)功率：0.75 kW

• 電源配置：?jiǎn)蜗?00–120V / 200–240V，三相200–240V（50/60Hz）

• 冷卻方式：空氣冷卻，無(wú)需水冷

• 外形尺寸：約 475 × 298 × 275 mm

• 整機(jī)重量：約 54 kg

產(chǎn)品亮點(diǎn)

• 無(wú)油干式結(jié)構(gòu)：無(wú)需更換油封或潤(rùn)滑油，避免油污染，保障系統(tǒng)潔凈。

• 極低運(yùn)行噪音：噪音低至 58 dB(A)，適合實(shí)驗(yàn)室及靜音環(huán)境。

• 內(nèi)置氣鎮(zhèn)功能：支持處理水蒸氣，提升泵送含濕氣體的能力。

• 空氣冷卻系統(tǒng)：不需外接冷卻水，降低安裝和維護(hù)復(fù)雜性。

• 長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)：推薦維護(hù)周期最長(zhǎng)可達(dá)3年，維護(hù)成本極低。

• 體積小巧，操作簡(jiǎn)便：結(jié)構(gòu)緊湊，適配多種應(yīng)用環(huán)境。

典型應(yīng)用領(lǐng)域

NeoDry 36E 適用于多種高潔凈、高穩(wěn)定性需求的真空應(yīng)用，包括但不限于：

• 掃描電子顯微鏡（SEM）

• 質(zhì)譜儀（MS）

• 真空鍍膜設(shè)備

• 光譜儀

• 檢漏設(shè)備

• 真空干燥/脫氣系統(tǒng)

• 冷凍干燥機(jī)

• 渦輪分子泵前級(jí)泵