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应用领域 | 能源,电子/电池,汽车及零部件,电气,综合 |
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搭载VR 机能, 一台质量流量控制器, 可适用各种不同气体以及需求流量的变更, 减少库存, 降低用户成本。搭载于实验设备。
LINTEC林泰克 可变更流量控制器 西南供应 MC-710
LINTEC林泰克 可变更流量控制器 西南供应 MC-710
VR功能
金属密封材
RS-485数字通讯接口
RS-232数字通讯接口
在使用实验设备和原型时,会面对多种气体并频繁改变流量范围,这种情况下需要多个质量流量控制器。MC-700系列是一款搭载VR功能的质量流量控制器,可根据需要改变气体类型和流量,一台MFC即可支持多种规格,适用。此外,密封材为SUS-316L金属密封,可对应高腐蚀性气体。
搭载VR功能的MC-700可以通过一个装置处理包括腐蚀性气体在内的多种气体类型和流量范围,且支持多种使用条件。这使从前需要多个质量流量控制器作为备用品的时代成为历史。同时,通过简化MFC的备用品数量,亦可在一定程度上节约成本。
温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
15~35℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 50SLM | Au |
※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。
■简 介
●MC-700 系列可利用变更机台三个旋转开关(VR值), 以实现不同气体种类以及满量程流量调整
■特 点
●(基准流量 )÷(全流量 )×CF值 =VR值,将不同参数输入机台的 3位数旋钮即可选择不同气体种类及满量程流量
●搭载VR机能,一台质量流量控制器,可适用各种不同气体以及 需求流量的变更,减少库存,降低用户成本
●采用标准RS-485数字通讯接口,最多可连接32台质量流量控制器
●搭配LINTEC的环境温度补偿式质流传感器
●内置微处理器提高处理效能
●控制阀由具有极小闭死容积的隔膜阀构造所组成
●使用耐久性高、密闭性高的金属密封件,维护性提高
●采用金属外壳以及各种滤波器,在高磁噪音及直流磁场的环境下 亦能维持其安定性
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