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特点：
★ 真空度读显功能，集成化一体设计
★ 结构紧凑，体积小，便于放置搬运
★ 系统内置破空电磁阀
★ 极限真空度10-8mbar
★ 即插即用式设计可实现简单的一键式操作
用途：
分子泵组主要用于真空镀膜、半导体、电子、加速器技术、等离子体技术、物理化学实验室，电真空器件制造及真空的各个领域?？膳浜辖蟮恼婵仗秸胩ā⒄婵辗夤芑刃枰婵栈肪车纳璞敢煌褂谩?/span>
分子泵组产品规格参数：
型号 | TP22-90 |
控制方式 | 一键启动 |
分子泵 | TURBOVAC 90i |
分子泵抽速 | 90L/S |
前级泵 | 双极旋片油泵（可?。焊《轿行杀?/span>1.2m3/h） |
前级泵抽速 | 2m3/h |
复合真空计 | PTR90(大气至5*10-7Pa) |
极限真空度 | 10-8Pa |
抽气接口 | KF40(可选KF25、KF16) |
冷却方式 | 风冷 |
系统漏率 | 1*10-10Pa.m3/s |
电源 | 220V 50HZ |
外形尺寸 | 400*340*260（长*高*深）（单位mm） |
重量 | 18kg |
仪器使用维护与故障诊断
在安装、操作仪器时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。
仪器的使用和维护
n仪器运输时，请先拔掉电源线插头。
n仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。
n使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干净，以免灰尘将机械精密部件、光学部件、电学接触面污染，导致仪器精度降低。
n仪器机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可，不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。
n仪器显示器部件清洁时，可用镜头纸蘸不含水酒精从中间向外轻轻的擦拭。不含水酒精是易燃物，注意使用安全。
n停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。
n操作人员必须严格按要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。
常见故障的排除
当您使用本仪器时，可能会碰到一些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。
症状 | 可能原因 | 解决方法 |
打开总开关显示器无显示 | 外接电源无电压输入 电源开关损坏 | 检查电源线 更换电源开关 |
真空度不好 | 真空泵受损 | 检查真空泵 |
系统存在泄露 | 检查系统漏点，更换配件 | |
真空计被污染 | 关闭系统，联系厂家维修 | |
管路或腔体被污染 | 清洁管路或腔内表面 | |
按下按键无效 | 操作不当，系统内部存在安全联锁 | 检查操作是否有误 |
按键损坏或线松动 | 检查线路是否松动，按键是否损坏，并联系厂家售后 | |
前级泵异响 | 破空阀门未关闭 | 检查破真空电磁阀是否关闭 |
机械泵已损坏 | 关闭系统，联系厂家维修 | |
分子泵异响 | 泵体内部存在异物 | 关闭系统电源，分子泵从处于停止状态，拆开法兰取出异物；检查受损状况，联系厂家 |
分子泵轴承损坏 | 关闭系统，联系厂家 |
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