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高斯摩(成都)国际贸易有限公司
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产品简介
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,电气,综合 |
|---|
背压控制阀是一种能将背压阀前段的压力设为恒定的泄压阀，可轻松、迅速地进行一般的后段控制调压阀难以实现的操作，如：控制带有大型缓冲器的水槽的压力、抽取混合气体的恒定流量等。
产品介绍
KOFLOC科赋乐 背压阀
KOFLOC科赋乐 背压阀
便于安装的面板装配型
小型紧凑设计
可以高速调节一次侧压力
清洁结构
这是一种绿色无油阀，可在纯净状态下进**体控制。
用途
控制水槽压力
控制混合气体的恒定流量
技术优势
热式技术（气体）：
基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。
低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。
压差式技术（液体）：
通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。
耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能：
数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自诊断报警（流量超限、传感器异常）。
典型应用场景
半导体制造
案例：晶圆刻蚀工艺中Cl?气体流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。
配置：钛合金流道（耐Cl?腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。
光伏产业
案例：硅烷（SiH?）气体输送（MFC-3000系列）。
挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。
方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。
材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封
| 型号 | 6800A | 6800B | 6800AL | 6800BL |
|---|---|---|---|---|
| 设定压力 | 0.01?0.3MPa | 0.01?0.6MPa | 0.01?0.3MPa | 0.01?0.6MPa |
| *大排气流量 | 1L/MIN | 0.8L/MIN | 10L/MIN | 10L/MIN |
| 耐压力 | 0.8MPa | |||
| 环境温度 | 5℃?60℃ | |||
| 接口 | Rc1/4（标准）、Rc1/8 | |||
| 流体接触部分材质 | （A）铝、黄铜、NBR （SS）SUS303、氟橡胶、氟树脂 | |||
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