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产品介绍
ASAHI-SPECTRA朝日分光 光学式膜厚計 OMD-1000
ASAHI-SPECTRA朝日分光 光学式膜厚計 OMD-1000
这是一种光谱薄膜厚度监测器，使用单色光监测基板在气相沉积过程中的光强度变化。 它也用于我们自己的气相沉积设备，并在充满作为气相沉积部件制造商专业知识的膜厚监控装置中完成。它被连接到气相沉积设备上，并监测薄膜厚度。
它可以按照右侧所示进行安装。
| 型式 | OMD-1000 型 |
| 光谱仪类型 | Czerny-Turner单色 |
| 波长范围 | 保修范围：380~900nm工作 范围：350~1100nm |
| 波长分辨率 | surito0.5mm：4.2nm[546nm] surito1.0mm：8.3nm[546nm] |
| 波长精度 | ±1.0纳米 |
| 最小波长馈源 | 0.1 纳米 |
| 外部控制 | RS232C 控制器 |
| 外部输出端子 | DC0~2V（满量程） |
| 采样间隔 | 100ms 或更长 |
| 静电放电测试耐压 | ±5 kV（实际电压为 8 kV） |
| 光源 | 12V100W 卤素灯 |
| 光量安定性 | ±0.1%/h 以下 |
| 输入电压 | AC100V 50/60Hz |
| 允许的输入电压 | AC85~132V 交流 |
| 视在功率 | 340VA 或更低 |
| 使用环境 | 温度：10~35°C，湿度 ：20~80% |
长处
紧凑的设计，带有集成光谱仪
提高抗噪性，实现可靠的膜厚监测（静电放电测试耐压 ±5kV）
可通过 PC 的命令自动控制
控制器内置于接收器本体中，以实现高性价比。
增强的波长范围
以前的型号是滤光片型波长选择，但新产品采用了我们经过验证的光谱仪，现在可以选择任何波长。
薄膜厚度变化的信号从电压输出更改为与个人计算机兼容的数字输出，控制机构由个人计算机的命令控制，而不是手动作。 此外，通过I/F直接连接个人计算机的薄膜测厚仪本体进行控制，因此没有其他制造商的控制器，因此是一个非常紧凑的系统。
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