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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 综合 |
|---|
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。
产品介绍
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5460L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5460L
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。
由于是利用气体或液体的质量对流量进行控制，故不受温度及压力的影响，可精准地对流体进行控制。质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。
核心技术架构
传感系统：
热式传感：基于King's Law原理，采用毛细管式或旁路式设计，温度分辨率达0.01℃
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
质流传感器是由缠绕着高温度灵敏系数的阻抗线的上流端(RU)，下流端(Rd)及环境温度补惨式质流传感器(RD)所构成。当气体未流入时。Ru 及 Rd 部分的热量被气体带走，造成温度下降，为维持原本与比的温差，回路会产生电力对Ru及Rd进行加温。利用产生的电力和气体流量的比例做比对、计算出流体的正确流量。
典型应用场景
1. 半导体制造：
晶圆刻蚀工艺（Cl?、CF?等特种气体控制）
CVD沉积（SiH?/N?O流量比控制±1%）
离子注入（BF?/PH?精确配气）
2. 新能源领域：
燃料电池氢气供应（动态响应<50ms）
锂电材料烧结（N?/O?混合控制）
光伏硅烷沉积（流量波动<±0.3%）
3. 制药行业：
生物反应器气体供应（O?/CO?/N?三联控）
冻干机惰性气体?；ぃ兜憧刂?lt;-70℃）
无菌灌装环境控制（ISO 5级洁净度）
4. 科研实验：
催化反应研究（多路气体并行控制）
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