联系电话
高斯摩(成都)国际贸易有限公司
中级会员·1年
具体成交价以合同协议为准
- 联系人：
- 汪雅琪
- 电话：
- 86-028-87319898
- 手机：
- 13166082288
- 传真：
- 86-028-85068959
- 地址：
- 四川成都市高新区天府大道中段500-1号东方希望天祥广场C座4527室
- 个性化：
- www.cosimoinc.cn
扫一扫访问手机商铺
产品介绍
Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
?半导体制造
?电子枪排气、离子源排气
?FPD 制造
?表面处理、表面改性
?各种电子元件的制造
?分析、检测设备
?管材、光学元件的制造
?加速器、放射线设施、聚变研究
?热处理
?研发
* 排放腐蚀性气体时，请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。
Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
灵活的安装姿势
紧凑的尺寸
节能
快速启动
结构耐大气层进入
可以进行串行通信
符合安全标准的 NRTL/SEMI-S2/CE
[使用环境温度] 极限压力保证
环境温度为 10~23°C。 允许环境温度为风冷 10~32°C，水冷 10~40°C。 极限压力保证：冷却水温度不大于30°C，允许冷却水温度为10~35°C。
根据吸入气体
的类型，它可能会使轴承润滑脂和内部零件变质。 请联系我们了解兼容的气体类型。
| 型 | TG450F 系列 | |
| 进气法兰 | VG150 ISO-B160 CF160 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 450 |
| N2（带?；ね?（升/秒） | 430 | |
| H2 （升/秒） | 240 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 极限压力 | （Pa / Torr） | <1×10-6 / <7.5×10-9 |
| 最大气体流速※1 | （SCCM） | 500 |
| 启动时间 | （分钟） | 2-2.5 |
| ?；奔?/td> | （分钟） | 5-6.5 |
| 允许的辅助压力 | （Pa / Torr） | 260 / 2 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧80 |
| 安装姿势 | 自由 | |
| 质量 | VG/ISO-R/CF（千克） | 7 / 10 |
| 控制器类型 | TC353 系列 | |
相关产品
