KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特點(diǎn)

工藝耐性好：屬于 SDH 系列，具有 Super Hirsch 對(duì)應(yīng)和工藝耐性的特點(diǎn)，能適應(yīng)各種復(fù)雜工藝環(huán)境。

無(wú)油干式設(shè)計(jì)：采用無(wú)潤(rùn)滑油機(jī)械結(jié)構(gòu)，可避免介質(zhì)污染，適用于如半導(dǎo)體晶圓制造等超潔凈工藝環(huán)境。

氮?dú)獯祾吖δ埽褐С值獨(dú)獯祾吖δ?，氮?dú)饬髁靠稍?0 至 80SLM 范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，增強(qiáng)了工藝靈活性。

抽氣能力較強(qiáng)：最大抽速可達(dá) 30,000L/min，極限壓力為 0.5Pa，能快速有效地抽取氣體，滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的真空需求。

高效節(jié)能：通過(guò)新型加熱器系統(tǒng)與機(jī)械結(jié)構(gòu)優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)低功耗化，功率為 3.3kW。

外形尺寸緊湊：長(zhǎng)度為 910mm、寬度為 420mm，高度為 900mm，機(jī)身較為小巧，節(jié)省安裝空間。

冷卻水需求低：冷卻水流量?jī)H需 4.0L/min，對(duì)冷卻系統(tǒng)要求不高，可降低運(yùn)行成本和設(shè)備復(fù)雜度。

安全可靠：符合工業(yè)安全標(biāo)準(zhǔn)，配備高安全性防護(hù)設(shè)計(jì)，能在工況下穩(wěn)定運(yùn)行。

產(chǎn)品兼容性好：支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作，可擴(kuò)展應(yīng)用場(chǎng)景，例如可與 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。

應(yīng)用領(lǐng)域廣泛：適用于化工、電子 / 電池、半導(dǎo)體制造、實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域，可用于晶圓加工、蝕刻等關(guān)鍵工藝的真空環(huán)境控制，以及高純度實(shí)驗(yàn)環(huán)境及腐蝕性氣體處理。