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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特點

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特點

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工藝耐性好:屬于 SDH 系列,具有 Super Hirsch 對應和工藝耐性的特點,能適應各種復雜工藝環(huán)境。

無油干式設計:采用無潤滑油機械結構,可避免介質污染,適用于如半導體晶圓制造等超潔凈工藝環(huán)境。

氮氣吹掃功能:支持氮氣吹掃功能,氮氣流量可在 0 至 80SLM 范圍內調節(jié),增強了工藝靈活性。

抽氣能力較強:最大抽速可達 30,000L/min,極限壓力為 0.5Pa,能快速有效地抽取氣體,滿足不同應用場景的真空需求。

高效節(jié)能:通過新型加熱器系統(tǒng)與機械結構優(yōu)化,實現(xiàn)低功耗化,功率為 3.3kW。

外形尺寸緊湊:長度為 910mm、寬度為 420mm,高度為 900mm,機身較為小巧,節(jié)省安裝空間。

冷卻水需求低:冷卻水流量僅需 4.0L/min,對冷卻系統(tǒng)要求不高,可降低運行成本和設備復雜度。

安全可靠:符合工業(yè)安全標準,配備高安全性防護設計,能在工況下穩(wěn)定運行。

產品兼容性好:支持與同系列設備協(xié)同工作,可擴展應用場景,例如可與 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。

應用領域廣泛:適用于化工、電子 / 電池、半導體制造、實驗室等領域,可用于晶圓加工、蝕刻等關鍵工藝的真空環(huán)境控制,以及高純度實驗環(huán)境及腐蝕性氣體處理。



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