中村代理ULVAC爱发科隔膜真空计

真空计内部被隔膜分为参比室和测量室。从隔膜的弹性变形量读取这两个室之间的压力差。
该名称源自这样一个事实：隔膜的变形被解读为电容的变化。它也简称为隔膜真空计。

测量与气体类型无关，且精度高。

"Model:CCMT-D"、陶瓷隔膜根据气体的压力变化发生变形、电容式真空计根据静电容量的变化检测压力。
传感器部由陶瓷一体构造，具备优秀的再现性、稳定性，在低·中真空领域不受气体的种类影响(可以测量绝对压力)，能够高精度地测量。

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