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当前位置：藤田（重庆）精密仪器设备有限公司>>检测、计量类>>日本Otsuka大塚>> OPTM series 嵌入型日本Otsuka大塚薄膜厚度检测仪 OPTM series
可携带至现场的手持式
日本Otsuka大塚薄膜厚度检测仪 OPTM series
● 可测量0.1μm单位
● 具有形状的样品也可非破坏的测量
● 不论基材材质、可测量其镀膜
日本Otsuka大塚薄膜厚度检测仪 OPTM series
与桌上型光学膜厚仪相比，Smart膜厚仪在“现场"以非破坏式直接量测样品，且可以量测特殊形状样品。
与接触式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不仅不会破坏您的样品，也不会因用户不同而产生误差且远高于接触式膜厚的量测精度。
与涡电流/电磁式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不需要制作检量线，且可以量测非金属基材并且得到绝对值！
非接触式载台
对于湿膜或半导体晶圆等不想接触的样品，可以通过自由设定探头位置进行非接触测量。
产品开发-量测试作品
1.携带到合作厂商等，直接在现场量测效率Up
2.试作阶段的检查方法商定效率Up
规格样式
量测原理 | 反射分光法（光干涉法）、非破坏性量测 |
膜厚量测范围 | 1~50μm（显示上限60μm） |
重复精度 | 2.1σ 0.01μm（SiO2膜1μm） |
量测时间 | 1秒内 |
量测层数 | 1层 |
数据输出 | 附属操作屏幕显示或以USB输出Excel档案 |
量测Spot | Φ1mm以下 |
重量 | 约1.1kg |
选配
笔型探头
能够测量狭窄区域或形状的样品。 探头端Φ6mm。
膜厚测量范围 | 1μm～50μm |
测量重复性 | 0.01μm |
测量时间 | 1秒以下 |
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