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藤田(重庆)精密仪器设备有限公司
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日本FLOURO 福乐伯努利卡盘 搬运晶圆晶体

参   考   价: 500

订  货  量: ≥1 件

具体成交价以合同协议为准

产品型号BC-K2

品       牌FLUORO/日本福乐

厂商性质经销商

所  在  地重庆市

更新时间:2025-03-29 15:31:05浏览次数:103次

联系我时,请告知来自 化工仪器网
产地类别 进口 应用领域 生物产业,电子/电池,纺织/印染,制药/生物制药,综合
质量 600 克 额定电压 100V
日本FLOURO 福乐伯努利卡盘 搬运晶圆晶体
活跃于半导体制造工厂、医疗设备应用和食品制造工艺等广泛市场


  • 日本FLOURO 福乐伯努利卡盘 搬运晶圆晶体

日本FLOURO 福乐伯努利卡盘 搬运晶圆晶体

晶圆非接触转移伯努利卡盘 BC 系列的特点

日本FLOURO 福乐伯努利卡盘 搬运晶圆晶体
  • 主体可以从手柄的 20 度、45 度和 90 度三个使用角度中进行选择,用于平面放置的 BC-K 系列兼容 2 英寸到 12 英寸。
    (使用角度为固定角度,不更换主机无法改变使用角度。

  • 导向挡块具有柔和的锥度,以便晶圆边缘与点接触。

  • 由防静电聚碳酸酯制成的导向环可以进行目视定位,并且可以检查吸入状态。

  • 由于主体使用导电尼龙树脂,减轻了重量。

  • 两面都有图案印刷,可以处理难以处理的薄至 50 μm 的晶圆。

  • 我们还支持定制产品,例如与对象匹配的方形。

日本FLOURO 福乐伯努利卡盘 搬运晶圆晶体

由于伯努利卡盘是在高压下使用的,因此出于安全原因,建议以与相同的方式将按钮朝下使用。 (请参考左图。 )

要使用伯努利卡盘,您需要一台压缩机和一个油箱为 9 升或更高的调节器。
(我们不出售它)


非接触式用于输送Bernoulli 卡盘

用于平面放置

日本FLOURO 福乐伯努利卡盘 搬运晶圆晶体
  • 材料

  • 本体:导电 MC 尼龙
    导环:防静电聚碳酸酯

  • 附属品

  • 导电管 6×4 (1.5m)

  • 使用角度

  • 20° / 45° / 90°

自适应晶圆尺寸代号气压 (MPa)重量 (g)
2 英寸BC-K2 型0.150
3 英寸BC-K3 系列0.170
4 英寸BC-K4 型0.1580
5 英寸BC-K5 系列0.15100
6 英寸BC-K6 型0.15120
8 英寸BC-K8 系列0.2170

平面贴装时:300 微米或更小

日本FLOURO 福乐伯努利卡盘 搬运晶圆晶体
  • 材料

  • 本体:导电 MC 尼龙
    导环:防静电聚碳酸酯

  • 附属品

  • 导电管 6×4 (1.5m)

  • 使用角度

  • 20° / 45° / 90°

自适应晶圆尺寸代号气压 (MPa)重量 (g)
6 英寸BC-K6-300型0.15170
8 英寸BC-K8-300型0.2220
12 英寸BC-K12-300 系列0.35430

对于 protoss 载体:300 微米或更小

日本FLOURO 福乐伯努利卡盘 搬运晶圆晶体
  • 材料

  • 本体:导电 MC 尼龙
    导环:防静电聚碳酸酯

  • 附属品

  • 导电管 6×4 (1.5m)

  • 使用角度

  • 45° / 90°

自适应晶圆尺寸代号气压 (MPa)重量 (g)
6 英寸BC-P6-3000.15180
8 英寸BC-P8-3000.2240
12 英寸BC-P12-3000.35450

台式Bernoulli

日本FLOURO 福乐伯努利卡盘 搬运晶圆晶体 

这将是一个特定于客户的订单。
新开发的吸附部分由抗静电塑料制成,通过精密加工制造出吸附高的结构。
当气体从垫片表面的注射孔注入时,气体的粘度将工件向上拉,并产生伯努利效应引起的吸附力。 利用这一点的革命性产品是台式伯努利系统。

  • 低压空气通过垫表面一个具有仰角的小直径孔注入,当它靠近工件时,工件被伯努利效应拉起并吸附。 由于它是非接触式的,因此可以在不损坏工件的情况下进行运输。 (压力 : 50 kPa, 流量 : 4.5 升)

  • 作部分为笔式小气阀(采用C001),作轻柔,有笔触的感觉。

使用的材料

  • 阀体:导电尼龙树脂

(体积阻力值:106 Ω)












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