东京计装TOKYOKEISO 氮气流量计 P-010

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P-771

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流量测量

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P-771 是一款全氟树脂超洁净吹扫计。从接液部件到结构部件，所有部件均采用非金属材料制成。特别是接液部件和锥形管采用 PFA 一体成型，即使在大气中也能防止吹扫计生锈?？商峁┕芏肆?。P-771 非常适合半导体生产设备中的纯水/超纯水工艺以及化学注入工艺。

目录和手册

P-771

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P系列吹扫流量计索引和快速参考

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*规格如有变更，恕不另行通知。

主要应用

半导体生产过程中的纯/超纯水管线和化学注入管线

规格

测量介质液体

公称直径管端：Φ6.35×t1（标准）、Φ6×t1、Φ8×t1

Piller接头（Super 300型）：Φ6×t1管接头、Φ8×t1管接头Rc：1/8"

流量范围水： 最大 0.2 至 2 L/min

最小 3 至 15mL/min·选择量程时，请参考《P系列吹扫流量计索引及快速参考》（TGS0001）。

·选择流量量程时，请参考标准流量表。

流体温度最高60°C

流体压力最大0.5兆帕。

过程连接管端，Piller 配件，Rc

准确性±5% 满量程

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