HONDA本多 W-357-1MQG-SKC  振动式清洗机

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超声波清洗设备

石英振动式清洗机[高频石英振动式]

石英振动类型

实现低损伤、高清洁度的新一代清洗技术

2006年，我们成功将 台石英振子式超声波清洗装置投入实际应用。

该装置通过将超声波叠加在石英振子上来清洗半导体晶圆。

与批量清洗或流水清洗相比，该装置的优点在于，可以减少化学药剂的使用量，并且由于与液体接触的部分只有石英玻璃，填料等橡胶材料不会与液体接触，因此可以保持较高的清洁度。

此外，通过根据用途调整石英振子的形状，可以根据需要进行低损伤清洗、大面积清洗、斜面（边缘面）和缺口（晶圆边缘面的切口部分）清洗等有效的清洗。

概述

特征

以最小的损伤清洗具有精细图案的晶圆

■通过将超声波叠加在石英振子上来清洗半导体晶圆。

通过将石英振子的超声波振动通过药液传递到半导体晶圆，接触点的药液会振动，通过加速度去除表面污垢。

■实现对半导体晶圆损伤最小的清洁清洗通过

在与药液的接触部分使用石英，与使用填料等橡胶材料的设备相比，可以实现清洁清洗，而不会产生橡胶的溶出或磨损。

■配备振子冷却功能，可以用气体（氮气等）冷却振子，从而实现频率无波动的稳定连续运行。

此外，冷却还可以防止急剧的温度变化并延长设备寿命。

目的

光刻胶残留物去除

蚀刻和灰化后聚合物去除

栅极电极清洗

CMP 后清洗

规格

■ 振荡器

   ● 输出可变范围：0W 至 12W（振动器允许输入：使用空气吹扫冷却振动器时，10W 连续）

● 使用周围环境：温度：15 至 35°C、湿度：10 至 85%

● 外部驱动触点额定值：超声波振荡控制（控制侧）触点输入：DC12V 16mA 或更大

　警报输出（主机）触点容量：DC24V 0.5A

■ 附带电缆：电源线（从 AC100V/2m 或 AC200V 2.4m 中选择）、控制线（5m）x 4

■ 振动体

          ●液体温度范围：20至50°C

●振动器：PZT

●材质：振动器：石英玻璃、密封垫：硅橡胶、外壳：PCTFE

●电缆长度：输出电缆1.5m+中继电缆3.5m

●空气吹扫接头：适用管（外径φ6）

*也可接受 2MHz、3MHz、4MHz 和 5MHz 的特殊订单。

●电缆长度：输出电缆5m

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等气动元件：SMC  FESTO  CKD,MAC，安沃驰AVENTICS，雄克SCHUNK，小金井KOGANEI，诺冠NORGREN，宝德BURKERT，力士乐REXROTH，滨霸BIMBA，康茂胜CAMOZZI，PIAB

传感开关：邦纳BANNER，巴鲁夫BALLUFF，皮尔兹PILZ,易福门IFM，西克SICK,图尔克TURCK,良信，安士能EUCHNER，倍加福P+F，穆尔MURR，倍福BECKHOFF，德森克DI-SORIC，施迈赛SCHMERSAL，基恩士KEYENCE，欧姆龙OMRON，

电气控制：西门子SIEMENS，施耐德 SCHNEIDER，伊顿-穆勒EATON，罗克韦尔A-B，ABB，三菱MITSUBISHI，丹佛斯DANFOSS，伦茨LEUZE，SEW

端子连接器：菲尼克斯PHOENIX，魏德米勒WEIDMULLER，浩亭HARTING，高松电子