YAMAMOTO-MS山本鍍金 应变式化学应力计

YAMAMOTO-MS山本鍍金 应变式化学应力计

• 传感器测量基板的变形并实时测量镀层的内部应力。

• 通过一次测量即可测量每次电镀时的应力（膜厚度）。还可以测量在已经镀过的薄膜上再次镀层时产生的应力?？梢圆饬看秤α莆薹觳獾降奈⑿∮α?。将专用应力计板插入YPP系列精密电镀电源的插槽中。

• 特征

• ●符合JIS H8626标准。
  ● 即使是微弱的应力也可以测量。适用于测量薄膜、晶圆等脆弱产品。 （从0.5μm以上的膜厚开始即可进行精密测量）
  ● 还可以测量其他方法无法测量的初始应力。
  ●适合精细零件。
  ● 传感器获取的数据即时输入到连接电源的PC中，PC自动计算出应力值，无需任何计算。此外，测量数据可以通过计算机实时显示和存储。

• 电源和应力测量板规格

• 输入电压	AC100~200V±10%（50/60Hz±5%）
  输出电压/输出电流	直流0-15V/0-10A
  最小分辨率	1毫安/10毫伏/0.1毫摄氏度
  温控功能	1KW（ON/OFF控制/PID控制）
  产品重量	8.8公斤
  支持的操作系统	兼容 Windows 8、10

• 套装内容

• 零件编号	产品名称	数量
  B-72-SG-P01W	应变式精密应力计（MODEL-w）用水箱	1 件
  B-72-SG-P02	应变式精密应力计夹具支架（带阳极背板）	1套
  B-72-SG-P03-1	应变式精密应力计试件（铜）5件	1套
  B-72-SG-P04	应变式精密应力计试件保温管	1
  B-50-KTSG121513	不锈钢G型紧固件（宽12毫米×15φ13）	1 件
  B-72-SG-P06	应变式精密应力计用阳极板套装 （含磷铜、镍、SK镍、高纯度锡（三菱电解锡）各1片）	1套
  B-58WJB	带温度保险丝的赫尔电池加热器WJB型（AC100V，100W）	1瓶
  B-72-SG-P07	应变式精密应力仪用气管	1
  B-57A	赫尔格气泵A（AC100V）	1 件
  B-62A	搅拌器（带固定支架）（兼容 Micro Barrel、Smart Hull Cell 和 Smart Cell）	1套
  B-93-YTC-P04	YTC、YPP温度传感器（短）总长度190mm	1
  B-93-YTC-P02	YTC温控器温度传感器塞（L型）	1 件
  A-52-P18	空气过滤器	1 件
  A-57-15100-1B	应变式精密应力计板	1个单位
  A-57-15100WA-J	精密晶圆电镀电源YPP15100WA-J（1mA至10A）	1个单位
  A-57-15031WA-J	超精密电镀电源YPP15031WA-J（10μA至3A）

• *产品编号的最后一位数字将根据套装中包含的电源而有所不同。
  　YPP15100WA电源套件：B-72WJ-SG-100W　
  　YPP15031WA电源套件：B-72WJ-SG-031W

• 相关论文 

• 镀膜应力测定方法日本表面处理协会 2007

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