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海克斯康HEXAGON高精度三坐标测量机xpert

一、产品概述

海克斯康HEXAGON XPERT系列是专为计量实验室和制造领域研发的超高精度三坐标测量机，代表了当代坐标测量技术的超高水平。该产品基于ISO 10360-8国际标准开发，通过德国PTB认证，能够满足VDI/VDE 2617最高精度等级要求，是精密制造领域计的量基准设备。

二、核心技术架构

1. 精密机械系统

• 采用天然花岗岩基座与精密陶瓷导轨组合，热膨胀系数低至0.8×10??/K

• ULTRA-DAMP静音减震机构，可将环境振动影响降低90%以上

• 纳米级分辨率光栅系统，分辨率达0.001μm，重复定位精度优于0.3μm

2. 智能控制系统

• CERTO-ULTRA多核并行控制系统，采样频率高达1000Hz

• 自适应温度补偿算法，实时修正环境温度变化带来的测量误差

• 智能碰撞防护系统，可检测0.1N级别的异常接触力

3. 测量软件平台

• 标配METROSOFT Ultra专业计量软件，支持PMI全尺寸自动评价

• 内置132种国际/行业标准评价规范数据库

• 支持点云数据处理与CAD数模对比分析

三、性能参数

四、典型应用

1. 精密光学元件检测

• 可测量直径0.1mm的微型透镜曲率半径

• 非球面光学元件面形精度评价

• 自由曲面光学器件逆向工程

2. 半导体制造领域

• 光刻机零部件形位公差检测

• 晶圆载具平面度测量

• 蚀刻模具三维轮廓分析

3. 计量标准器检定

• 标准环规/塞规尺寸溯源

• 多齿分度台角度基准校准

• 激光干涉仪反射镜面形检测

五、服务支持

提供完整的计量解决方案，包含：

• 现场安装调试与CMM认证服务

• 年度精度校准与维护保养

• 操作人员专业培训课程

• 24小时远程技术支持