蔡司ZEISS XENOS 高精度桥式三坐标测量机

蔡司ZEISS XENOS 高精度桥式三坐标测量机

ZEISS XENOS：重新定义工业计量精度边界

作为蔡司计量产品线的旗舰机型，ZEISS XENOS桥式三坐标测量机代表着当前工业计量技术的最高成就。其突破性的设计理念将测量精度推进至纳米级范畴，在航空航天、光学精密制造、半导体设备等领域树立了新的行业标准。

革命性的结构设计

设备采用整体式零膨胀陶瓷基座，配合主动温控系统（ACT-TEMP）实现±0.01K的温度稳定性。XENOS-CORE框架结构通过有限元优化，使动态刚度达到传统机型的5倍，有效抑制测量过程中的微振动干扰。磁悬浮驱动系统（MAG-DRIVE）摒弃传统摩擦传动，定位分辨率达到惊人的0.01μm。

纳米级测量系统

搭载第七代VAST-XT gold测头系统，采用金刚石涂层探针和光学编码器技术，实现0.05μm的单点重复精度。创新的XTR多传感技术可自动切换接触式测量与光学扫描模式，在复杂曲面测量时仍能保持0.1μm的轮廓精度。环境补偿单元集成32通道传感器网络，实时修正温度、气压、湿度等16项环境参数的影响。

智能控制平台

配备ZEISS MMX操作系统，具备深度学习能力的自适应路径规划功能，可预测工件变形并自动优化测量轨迹。在线诊断系统（X-DIAG）通过3000+个监测点实现设备健康状态的实时评估，关键部件寿命预测准确度达95%。"计量模式"可暂时关闭所有非必要功能，在超精密测量时消除系统内部电磁干扰。

典型应用场景

• 极紫外光刻机光学元件面形检测（PV值<10nm）

• 航空发动机单晶涡轮叶片型腔测量（公差带±0.8μm）

• 引力波探测器反射镜组装调试

• 高能物理实验装置精密定位

通过德国PTB认证和ISO 17025标准，XENOS的年精度漂移量控制在0.2μm以内，其建立的测量结果可直接作为国家计量基准的溯源依据。该设备现已应用于全球23个国家的一级计量实验室，成为工业4.0时代精密制造的基石装备。