WAU罗茨泵核心型号与技术参数?

?关键设计?：全系列标配?旁通阀系统?，支持大气压启动，抽空时间缩短30%

WAU罗茨泵技术优势?

1. ?高效节能?

• 风冷设计无需外接冷却水，能耗比传统水冷泵低40%

• 变频调速兼容性（如WAU 251提速至4200rpm），工况适配性提升50%
  

2. ?无油密封?

• 罐装电机（Canned Motor）隔绝润滑油污染，满足半导体、光伏镀膜等高纯度工艺要求
  

• 氟橡胶密封件耐受含氧/腐蚀性气体（如CVD工艺中的蚀刻气体）
  

3. ??？榛?/span>?

   齿轮箱与泵腔隔离设计，润滑油不受介质污染，更换周期延长至4000小时
   

   立式/卧式快速切换，节省设备布局空间

   维护与故障预防?

• ?强制保养项?

• 每运行2000小时更换轴承及机械密封，使用原厂LVO 100/210润滑油
  

• 清洗泵腔需用5%酸碱液，禁用颗粒研磨剂

• ?运行禁止?

• 连续压差＞100mbar会导致转子过热变形（需联锁压力传感器）

• 旁通阀开启时间≤3分钟，避免电机过载
  

• ?升级选项?

• 加装磁悬浮轴承：机械损耗降40%，免维护周期突破8000小时