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池田屋实业（深圳）有限公司
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产品介绍
ULVAC爱发科作为真空技术企业，其核心产品覆盖真空设备及配套系统，以下是主要产品线及其技术特点：
一、真空泵类产品
?油旋片真空泵 PVD-360?
?技术特性?：采用双级设计，极限真空度达2×10?2 Pa，配备智能调速电机节能30%；?？榛峁顾醵?0%维护时间，转子表面DLC涂层延长使用寿命至40,000小时46。
?应用领域?：适用于制冷行业（空调抽真空）、食品真空包装、电子元器件生产及化工真空浸渍4。
?高真空低温泵 CRYO-U6H?
?核心性能?：双段式GM制冷技术实现1×10?7 Pa极限真空，氢气排气速度500 L/s，支持多泵联动（单压缩机驱动4台泵）7。
?优势?：氩气处理容量提升2倍，再生周期优化，适用于半导体溅射和光学镀膜等洁净工艺7。
?油回转真空泵配件?
?油雾过滤器 OMT-200A?：自动回收油烟至泵内，适配GLD系列泵型，降低油消耗和维护频率2。
二、半导体制造设备
?uGmni-200E刻蚀设备?：模块化平台支持多工艺腔体切换，通用部件设计减少备件需求，提升电子产品制造效率5。
?GaN射频器件解决方案?：涵盖溅射、刻蚀、蒸镀等全流程，核心技术包括低损伤刻蚀及大规模生产支持能力5。
?一次性蒸镀卷绕设备?：实现双面1μm镀膜的高速量产，方阻降低显著，适用于锂电池制造5。
三、成膜与测量设备
?成膜设备?
成膜电源与椭偏仪：支撑薄膜沉积工艺中的电源供应与膜层分析1。
?真空测量仪器?
?M-11测定子?：电离真空计配件，测量范围1.30×10??~2.3×10?2 Pa，快速响应高真空环境变化，适配GI系列真空计3。
四、其他核心组件
?真空机械手?：用于晶圆真空搬运，兼容复杂生产线布局1。
?真空阀与法兰?：标准化部件支持真空系统快速搭建，覆盖医疗、生物技术等领域1。
ULVAC产品以真空技术为核心，通过智能化、模块化设计适配半导体、新能源、科研等多领域需求，持续推动高精度与节能技术创新15。
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