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SDX1200日本Kashiyama樫山工业干 涡轮分子泵背泵
参考价: 49614
订货量: 1
具体成交价以合同协议为准
  • SDX1200 产品型号
  • KASHIYAMA/日本 品牌
  • 经销商 厂商性质
  • 深圳市 所在地

访问次数:117更新时间:2025-05-06 17:50:04

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www.matsuo-ele.cn
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www.ikedaya.cn/

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产品简介
泵轴位置 其他 抽气量 见参数
抽气速率 10000l/s 电压 100V
功率 1.5kW 极限压力 0.5pa
流量 0-80m3/h 排出口径 10mm
输送介质 油泵 外形尺寸 见参数
扬程 5m 叶轮数目 其他
应用领域 化工,石油,能源,汽车及零部件,综合 重量 5kg
最大工作压强 见参数
Kashiyama樫山工业干式真空泵关于应用领域,结果6提到应用于化工、电子/电池、半导体制造等领域,这说明该泵适用于高精度和高要求的工业环境。同时,结果6还提到樫山工业在半导体制造中的可靠性
产品介绍

Kashiyama樫山工业干式真空泵
Kashiyama樫山工业干式真空泵

关于应用领域,结果6提到应用于化工、电子/电池、半导体制造等领域,这说明该泵适用于高精度和高要求的工业环境。同时,结果6还提到樫山工业在半导体制造中的可靠性

  • 技术沉淀?:公司在真空技术领域拥有深厚积累,其干式真空泵系列已成为半导体制造工艺的标准设备之一7。

二、核心技术

  1. ?无油干式设计?

    • 采用无润滑油机械结构,避免介质污染,适用于超洁净工艺环境(如半导体晶圆制造)

    • 支持氮气吹扫功能(0~80 SLM流量调节),增强工艺灵活性

  2. ?高效节能技术?

    • 通过新型加热器系统与机械结构优化,实现低功耗化(例如 SDX600 功率仅 1.5 kW)

    • 小型化机身设计(如 SDX600 尺寸 695×285×820 mm),节省安装空间

  3. ?高可靠性保障?

    • 符合工业安全标准,配备高安全性防护设计,适应工况下的稳定运行

三、核心产品系列

  • ?SD 系列真空泵?:包含 SDX600、SDT600、SDX1200 等多型号,覆盖抽气速率 10,000 L/min 至 100,000 L/min,满足不同规模需求

  • ?产品兼容性?:支持与同系列设备协同工作,扩展应用场景(如搭配 SDT600 或 SDX1200 使用)

四、应用领域

  • ?半导体制造?:用于晶圆加工、蚀刻等关键工艺的真空环境控制

  • ?电子/电池行业?:支持锂电池生产、精密元件封装等洁净场景

  • ?实验室与化工?:适用于高纯度实验环境及腐蚀性气体处理

  • 技术参数?

  • ?最大排气速度?:10,000 l/min

  • ?极限压力?:0.5 Pa

  • ?功率?:1.5 kW

  • ?冷却水需求?:3.0 l/min

  • ?外形尺寸?:695×285×820 mm









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