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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 5千-1万 |
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应用领域 | 食品/农产品,化工,电子/电池,电气,综合 | 订货号 | 176.0755.4908 |
常规的“搅拌模式/消泡模式"外,增加了新的中间模式。
在保持操作简便的同时,现在可以选择适合更广泛应用和材料的模式。
KAKUHUNTER写真化学 测绘膜自动薄膜厚仪
KAKUHUNTER写真化学 测绘膜自动薄膜厚仪
特征
测绘膜厚仪能够自动测绘晶圆整个表面的膜厚,最大可达300毫米。自动对准功能和高度平坦的晶圆吸盘可实现高度可靠的膜厚测量。 另外,通过设置在半导体制造装置的装载口,可以在保持清洁度的同时管理制造装置上的膜厚。
1可对最大 300mm 的晶圆进行全表面自动薄膜厚度测绘
2自动对位功能
3通过使用具有高平坦度的晶圆卡盘,提高了晶圆平面内的测量可靠性
通过自动检测缺口和定向平面位置以及自动检测晶圆偏心,实现高精度测量。
4可以根据应用选择三种类型的光源
5透明盖使测量过程中的运动一目了然
6一体化设计节省空间
测量数据示例(2D膜厚分布)
贴合晶圆的硅厚度(nm)
测量数据示例(3D膜厚分布)
贴合晶圆的硅厚度(nm)
测量数据示例(膜厚频率分布)
贴合晶圆的硅厚度
测量数据示例(多个晶圆的膜厚分布箱线图)
5个晶圆的膜厚分布趋势
代理品牌:CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山
优势品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计,恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪,接近开关、拉拔机、异音检测仪、离心机,下死点检测装置、空气测量泵、应变测试仪等期待您的咨询。