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EV-S200N原裝現(xiàn)貨EBARA荏原沉積離子注入行業(yè)真空泵
| 參考價: | ￥ 37163 |
| 訂貨量: | 1臺 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- EV-S200N 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：58更新時間：2025-03-26 15:40:58
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產(chǎn)品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 抽氣量 | 看型號 |
|---|---|---|---|
| 抽氣速率 | 看說明l/s | 電壓 | 100V |
| 功率 | 0.4kW | 極限壓力 | 看參數(shù)pa |
| 流量 | 0.2m3/h | 排出口徑 | 1mm |
| 輸送介質 | 其他 | 外形尺寸 | 230X450X274 |
| 揚程 | 1m | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
| 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 | 重量 | 60kg |
| 最大工作壓強 | 0.55 |
?半導體工業(yè)?：在半導體制造中，渦輪分子泵是制造微電子芯片和半導體器件的關鍵設備。由于半導體工藝需要在高真空環(huán)境下進行，渦輪分子泵通過高效抽氣，確保工藝過程中的高真空度，從而保障半導體產(chǎn)品的質量和生產(chǎn)效率?。
產(chǎn)品介紹
原裝現(xiàn)貨EBARA荏原沉積離子注入行業(yè)真空泵
原裝現(xiàn)貨EBARA荏原沉積離子注入行業(yè)真空泵
核心原理?
干式真空泵通過機械部件的運動，周期性地改變密閉腔體的容積，形成吸氣、壓縮和排氣過程。由于無液體參與密封，其設計依賴于精密配合的間隙和特殊材料，確保高效密封和耐磨性。
?主要類型及工作方式?
?爪式泵（Claw Pump）?
?吸氣階段?：轉子分離時，腔體容積增大，吸入氣體。
?壓縮階段?：轉子閉合，氣體被壓縮并推向排氣口。
?排氣階段?：壓縮氣體通過排氣閥排出。
?結構?：兩個爪形轉子在泵腔內(nèi)反向旋轉。
?工作流程?：
?特點?：非接觸式設計，轉子間隙小，耐粉塵。
?螺桿式泵（Screw Pump）?
?結構?：兩根平行螺桿（通常為單頭或雙頭螺紋）相互嚙合。
?工作流程?：螺桿旋轉時，氣體沿軸向被封閉在螺桿齒槽內(nèi)，從吸氣端推送至排氣端，通過容積縮小實現(xiàn)壓縮。
?特點?：連續(xù)排氣，振動小，適合中高真空。
?羅茨泵（Roots Pump）?
?結構?：兩個“8"字形葉輪嚙合旋轉。
?工作流程?：葉輪高速反向旋轉，將氣體從進氣口推向排氣口，依賴多級串聯(lián)提高壓縮比。
?特點?：無內(nèi)壓縮，需前級泵配合；大抽速，適合粗真空。
?渦旋泵（Scroll Pump）?
?結構?：由動渦盤和靜渦盤組成，動盤繞靜盤中心作偏心運動。
?工作流程?：氣體在渦旋槽內(nèi)被分隔成多個密閉腔，隨著動盤運動，腔體向中心移動并逐漸縮小，氣體被壓縮排出。
?特點?：結構緊湊，低噪音，適合潔凈環(huán)境。
?往復式活塞泵（Piston Pump）?
?結構?：活塞在氣缸內(nèi)往復運動，配以閥門控制氣流。
?工作流程?：活塞后移時吸氣，前移時壓縮氣體并排出。
?特點?：可達到較高真空度，但振動較大。
?半導體工業(yè)?：在半導體制造中，渦輪分子泵是制造微電子芯片和半導體器件的關鍵設備。由于半導體工藝需要在高真空環(huán)境下進行，渦輪分子泵通過高效抽氣，確保工藝過程中的高真空度，從而保障半導體產(chǎn)品的質量和生產(chǎn)效率?。
?光學工業(yè)?：在光學工業(yè)中，渦輪分子泵用于真空鍍膜、真空燒結、真空蒸發(fā)等工藝。其高真空度、低噪音、低震動的特點，使得光學鍍膜等工藝得以高質量完成?。
?醫(yī)藥工業(yè)?：在醫(yī)藥工業(yè)中，渦輪分子泵主要應用于真空干燥、真空蒸餾、真空濃縮等工藝。通過維持高真空度，有效避免藥品的氧化和變質，確保藥品的質量和安全性?。
?食品工業(yè)?：在食品工業(yè)中，渦輪分子泵用于真空包裝、真空蒸煮等工藝。它能夠快速抽取食品包裝內(nèi)的氧氣，延長食品的保質期，同時保持食品的原有口感?。
?化工工業(yè)?：在化工工業(yè)中，渦輪分子泵廣泛應用于真空蒸餾、真空干燥、真空濃縮等關鍵工藝。高真空度的維持對于避免化工產(chǎn)品的氧化和變質至關重要，渦輪分子泵的高效性能為化工生產(chǎn)提供了有力保障?。
?高能物理研究?：在高能物理研究中，渦輪分子泵用于加速器質譜系統(tǒng)等設備中，創(chuàng)造高真空環(huán)境，以確保粒子加速和檢測的準確性?。
?其他領域?：渦輪分子泵還廣泛應用于鍍膜、電子、太陽能、真空爐、離子刻蝕、光盤制造、制燈、航空航天、核能源等相關行業(yè)和教學、科研單位。
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