联系电话
池田屋实业（深圳）有限公司
中级会员·2年您现在的位置： 池田屋实业（深圳）有限公司>>EBARA荏原>> ESA70W全新供货EBARA荏原 大型真空腔室真空泵
具体成交价以合同协议为准
- 联系人：
- 杨树
- 电话：
- 手机：
- 15622816333
- 售后：
- 15622816333
- 传真：
- 86-755-22220215
- 地址：
- 深圳市龙华区龙华街道松和社区汇食街一巷10号展源商务大厦 1207
- 网址：
- www.ikedaya.cn/
扫一扫访问手机商铺
产品简介
| 泵轴位置 | 其他 | 抽气量 | 看型号 |
|---|---|---|---|
| 抽气速率 | 看说明l/s | 电压 | 100V |
| 功率 | 0.4kW | 极限压力 | 看参数pa |
| 流量 | 0.2m3/h | 排出口径 | 1mm |
| 输送介质 | 其他 | 外形尺寸 | 230X450X274 |
| 扬程 | 1m | 叶轮数目 | 其他 |
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,电气,综合 | 重量 | 60kg |
| 最大工作压强 | 0.55 |
?半导体工业?：在半导体制造中，涡轮分子泵是制造微电子芯片和半导体器件的关键设备。由于半导体工艺需要在高真空环境下进行，涡轮分子泵通过高效抽气，确保工艺过程中的高真空度，从而保障半导体产品的质量和生产效率?。
产品介绍
全新供货EBARA荏原 大型真空腔室真空泵
全新供货EBARA荏原 大型真空腔室真空泵
应用环节
?硅片生产?：在硅片生产过程中，干式真空泵提供高精度的真空环境，确保硅晶体的拉制质量?。
?电池片制造?：在电池片的制造过程中，干式真空泵用于真空封装，确保电池片中的材料质量和性能?。
?电池组件封装?：在电池组件的封装过程中，干式真空泵提供稳定的真空环境，确保组件的质量和性能?。
应用行业
包括半导体制造、真空冶金、食品工业、科学研究院、航空航天、医疗设备、光学仪器等。
LED行业应用
有效应用于LED制造的各类制程中
随着显示器从 LCD 到 LED 到 OLED 过渡，更精确的测量和精密的控制是必需的要求。 正是基于这个原因，显示器制造业不断投资于新的技术和功能。
?半导体工业?：在半导体制造中，涡轮分子泵是制造微电子芯片和半导体器件的关键设备。由于半导体工艺需要在高真空环境下进行，涡轮分子泵通过高效抽气，确保工艺过程中的高真空度，从而保障半导体产品的质量和生产效率?。
干式真空泵是一种无需液体密封或润滑的真空设备，其工作原理基于机械运动改变工作腔容积以实现气体抽吸和压缩。以下是对其工作原理的详细解析：
?核心原理?
干式真空泵通过机械部件的运动，周期性地改变密闭腔体的容积，形成吸气、压缩和排气过程。由于无液体参与密封，其设计依赖于精密配合的间隙和特殊材料，确保高效密封和耐磨性。
?主要类型及工作方式?
?爪式泵（Claw Pump）?
?吸气阶段?：转子分离时，腔体容积增大，吸入气体。
?压缩阶段?：转子闭合，气体被压缩并推向排气口。
?排气阶段?：压缩气体通过排气阀排出。
?结构?：两个爪形转子在泵腔内反向旋转。
?工作流程?：
?特点?：非接触式设计，转子间隙小，耐粉尘。
?螺杆式泵（Screw Pump）?
?结构?：两根平行螺杆（通常为单头或双头螺纹）相互啮合。
?工作流程?：螺杆旋转时，气体沿轴向被封闭在螺杆齿槽内，从吸气端推送至排气端，通过容积缩小实现压缩。
?特点?：连续排气，振动小，适合中高真空。
?罗茨泵（Roots Pump）?
?结构?：两个“8"字形叶轮啮合旋转。
?工作流程?：叶轮高速反向旋转，将气体从进气口推向排气口，依赖多级串联提高压缩比。
?特点?：无内压缩，需前级泵配合；大抽速，适合粗真空。
?涡旋泵（Scroll Pump）?
?结构?：由动涡盘和静涡盘组成，动盘绕静盘中心作偏心运动。
?工作流程?：气体在涡旋槽内被分隔成多个密闭腔，随着动盘运动，腔体向中心移动并逐渐缩小，气体被压缩排出。
?特点?：结构紧凑，低噪音，适合洁净环境。
?往复式活塞泵（Piston Pump）?
?结构?：活塞在气缸内往复运动，配以阀门控制气流。
?工作流程?：活塞后移时吸气，前移时压缩气体并排出。
?特点?：可达到较高真空度，但振动较大。
相关产品
-
￥25936
