美国TEGAM 9072J 型高压放大器微机电驱动系统，高压微机电驱动系统具有高分辨率，高电压波形，价格经济实惠，是一套适合目前科研人员，学生和老师使用的强大工具。教师通过外接投影仪可以用该系统向学生展示理论概念，而科研人员能以视频和图片的方式记录设备操作以便于相互之间的合作。
美国TEGAM 9072J 型高压放大器微机电驱动系统
特点
• 完整的软件工具
• 任意/函数波形发生器
• 精确的信号放大
• 立体变焦三目显微镜
• 高分辨率视觉系统
• 实验室微型探针台应用
• MEMS/NEMS器件
• 压电器件
• 传感器开发
• 微型驱动器
• 教育, 科研, 技能培训
TEGAM9072J 型高压微机电驱动系统具有高分辨率，高电压波形，
价格经济实惠，是一套适合目前科研人员，学生和老师使用的强大工
具。教师通过外接投影仪可以用该系统向学生展示理论概念，而科研
人员能以视频和图片的方式记录设备操作以便于相互之间的合作。
9072J高压微机电驱动系统*推出了一套用于微电子器件驱动和可
视化测量的完整系统。
MEMS移动
自 从 MEMS技术产生以来 ，TEGAM产品就一直用于MEMS器件的驱动。
通常使用三个工具即可实现MEMS移动：
1. 一个任意波形发生器
2. 一个功率放大器
3. 一个夹具或一个探头
使用波形发生器可实现适当的驱动触发，发生器通常限定为10 Vp - p。
根据被驱动的元器件不同所要触发的振幅也有所不同。电压放大器可
以把发生器的低电压输出幅度提高到更高的驱动值，以满足微电子器
件测试时的驱动电压值。因为大多数的器件都有正常的操作频率和振
幅，所以老师和学生应采取一定预防措施来选择合适的驱动值?？蒲?/span>
人员在生产MEMS/NEMS器件时应该从低频率和低电压开始，逐步提高
两项的值以达到期望的结果。
问题
微机电器件是如此之小，如果没有视觉辅助系统就检测不到它的正常
移动。科研人员通常使用单一的光学检测显微镜观察移动，但是这种
检测方法对于一些小组成员，想集体观察实时发生的情况是有局限性
的。完整的测量系统还需补充额外的驱动触发和测量设备。
TEGAM的解决方案
9072J高压微机电驱动系统包括：
1.2732：双通道任意波形发生器
2.软件：Excel/WaveWorks DDS,
Video Image Express
3. 2350：双通道电压放大器
4. 戴尔电脑
5. 显微镜/照明
6. 微探针台
7. 高分辨率视觉系统和软件
函数发生器
TEGAM9072J型高压微机电驱动系统包括一个2732函数发生器，
它具有两个单独的通道，可提供两个独立的达50MHz的波形。 2732
同时具有同类任意波形发生器中zui大的存储量，达400万点的数据存
储，拥有14位分辨率。
函数发生器软件
随 机 的 软 件 包 为 WaveWorksDDS TM ，允许进行逐点的操作和
创建波形。创建后的、可达400万点×2通道的波形，可通过RS-232接
口 或 GPIB接 口 下 载 至 仪 器 。WaveWorks DDS TM 软件也可以从
泰克，力科，安捷伦等公司大多数的示波器中导入波形。创建波形的
另一个有用工具是Microsoft Excel，用Excel表中普通的数学函数功能
就能够创建不同的波形，长度可达65,535点。用户还可以在Excel中
用图表工具预览波形数据。生成的数据可以保存到文件中，然后导入
WaveWorks DDS TM 软件。2732采用逗号描述导入方式， 可从允许逗
号分隔文件的任何软件中导入数据，如MATLAB®，示波器文件，或从
其他可生成CSV格式的设备中导入数据。
电压放大器
TEGAM2350型电压放大器被用做2732函数发生器的补充放大器。
9072J高压微机电驱动系统中包括一个固定增益为50倍的，2350型双
通道放大器。
许多微机电器件需要超过100 Vp – p的驱动触发，2350放大器拥有400
Vp - p的zui大输出电压，能够满足目前MEMS元器件的驱动需求和未
来可能的技术发展。在40 mA的连续电流下，2350可以驱动达200pF
的电容负载，同时保持200kH z的全功率带宽。
计算机/显微镜/照明
9072J高压微机电驱动系统还包括一个PC机，预装的软件包括：
1. WaveWorks DDS
2. Excel
3. Video Image Express Control
和测量软件
三目立体显微镜同步实现现场立体观测和摄像头成像。每个系统都配
备一个360°的无影环形荧光照明器，以便实现合适的照明。
摄像头
USB2.0接口的摄像头无需复杂的视频采集卡即可快速、轻易的获取图
像。摄像头分辨率可选，能够达到每秒25帧的实时图像观察。高分辨
率(300万像素)的图像捕捉性能极其适合于检测使用。而一个简单的
用户软件界面即可实现对摄像头的控制，只要点击一下鼠标就可以捕
捉到图像并以.jpg和.bmp的格式保存图像。
微探针台
这个坚固耐用的基础探针台可用于良好的有源和无源器件的研究，也
可用于高校的教学和培训。探针台由一个真空固定的精密的X-Y轴和Z轴
升降台组成。为便于操作，测试设备的移动不依赖探头位置的作用。坚固
的三轴定位在X轴，y轴和Z轴上有25mm的调整范围，并磁附到平台上。
美国TEGAM 9072J 型高压放大器微机电驱动系统参数
美国TEGAM简介
TEGAM 公司成立于1979年，总部和生产设在美国俄亥俄州克里夫兰市东，专注于设计、生产多种测试测量和校准仪器。
TEG AM 公司微欧计和阻抗测试产品广泛应用于军用和民用航空业的设计、制造和维护M R O 过程中的各个检测环节，使
用TEG AM 公司仪器的客户包括：
• 波音公司
• 麦道公司
• 洛克希德.马丁公司
• 斯科斯基公司
• 贝尔直升机公司
• 休斯直升机公司
• 罗克韦尔公司
• 通用动力公司
• 众多航空公司的MRO基地
• 美国国防机构
校准和服务计划
校准、延长保修期和服务计划适用于所有的TEG AM 产品。这些计划节省您的时间和花费，并且确保您的仪器性能得到优化。这些计划可以伴随着新仪器的采购、以优惠的价格购买。TEG AM 获得更多信息。
实验室认证
TEG AM 公司符合ISO /IEC 17025;2005中“测试和校准实验室能力的通用要求”的条件和要求，通过了 A2LA (美国实验室认证委员会)的认证，达到ISO /IEC 17025:2005的要求。认证号码 2018.01.
R 1L-E2A本安型搭接电阻表和微欧计，满足的标准. ATEX Ex ia IIA T4 G a和 C -U L-U S Listed C lass I D iv.1,G roup D com pliance w ith AN SI/U L 913-1988, Fifth Edition, 21 Feb.,1997
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