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MLA150-德国海德堡 无掩膜激光直写光刻机
  • MLA150-德国海德堡 无掩膜激光直写光刻机

货物所在地:上海上海市

更新时间:2025-07-26 23:15:21

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MLA150专属为研发型以及中小批量生产的客户而设计的激光直写解决方案。

区别于过去传统的工艺技术而开发的无掩膜激光直写技术,将设计图形直接曝光到涂覆有光刻胶的衬底材料上;

曝光后,如果需要修改图形结构,可以直接通过CAD软件修改原始图形,然后重新曝光即可,无需花费重新制版的时间。

MLA150

先进无掩膜激光直写机 / 光刻机

The Advanced Maskless Aligner

适合研发团队与中小批量生产的客户

MLA150专属为研发型以及中小批量生产的客户而设计的激光直写解决方案。

区别于过去传统的工艺技术而开发的无掩膜激光直写技术,将设计图形直接曝光到涂覆有光刻胶的衬底材料上;

曝光后,如果需要修改图形结构,可以直接通过CAD软件修改原始图形,然后重新曝光即可,无需花费重新制版的时间。

主要产业应用有:生命科学、微流体、MEMS、微光学、传感器、材料研究等有微纳米结构需求的科研领域。




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