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1. 产品概述

Veeco 的 GEN200® MBE 系统是当市场上具成本效益和高容量的多 4 英寸生产 MBE 系统。该系统在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等设备的生长中提供的吞吐量、长时间的加工周期和出色的晶圆质量。

提供成本低的 4 x 4“ 外延片生长

与同类 MBE 系统相比，?？榛芄沟恼加每占湟〉枚?/span>

允许多两个生长?？椋佣岣卟炕蛟市泶聿幌嗳莸牟牧?/span>

可选的隔板安装优化了洁净室空间

集成了业界具创新性、可靠的系统硬件、源和组件

Veeco 的 GEN200® MBE 系统是当市场上具成本效益和高容量的多 4 英寸生产 MBE 系统。该系统在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等设备的生长中提供的吞吐量、长时间的加工周期和出色的晶圆质量。