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MKW4200-光发射电子显微镜/PEEM
  • MKW4200-光发射电子显微镜/PEEM

货物所在地:上海上海市

地: 上海

更新时间:2025-04-29 08:52:34

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LEEM是广泛应用于材料科学领域的高技术分析仪器,能集原位观测、超快及光电子成像于一体,即我们所称的“长眼睛的超级XPS",能对薄膜以及二维材料、锂离子电池、钙钛矿太阳能电池材料等的表面电子行为进行实时激发、图像采集及定量分析,此外LEEM还可定量地解析各种薄膜材料在生长过程中所处的能带状态,因而可以对电子材料制备、使用和失效过程进行有效的表征,从而揭示电子材料的化学成分、能带及其价态与性能的作用

LEEM是广泛应用于材料科学领域的高技术分析仪器,能集原位观测、超快及光电子成像于一体,即我们所称的“长眼睛的超级XPS",能对薄膜以及二维材料、锂离子电池、钙钛矿太阳能电池材料等的表面电子行为进行实时激发、图像采集及定量分析,此外LEEM还可定量地解析各种薄膜材料在生长过程中所处的能带状态,因而可以对电子材料制备、使用和失效过程进行有效的表征,从而揭示电子材料的化学成分、能带及其价态与性能的作用机理。LEEM与成像功能和离子溅射刻蚀相结合,可以用于固体表面元素成分及价态的面分布和深度剖析;与离子蒸镀或其他分子束外延技术相结合,可以进行原位样品的制备及分析工作。当电子到样品的着陆能量较低时,会在样品表面发生衍射。对衍射斑点进行成像,可以获得LEED图像,得知表面晶向结构。同时可以与光阑配合,调控电子束在表面的位置与大小,进行微区LEED表征,这样就不仅可以对样品表面进行实空间成像,还可以得知样品各微观位置的晶向结构。这也是PEEM/LEEM系统一大优势。因此,LEEM在电子薄膜材料、半导体材料、纳米材料、能源、催化分析等方面具有不可替代的作用。

配置清单

序号

具体配置

数量

1

超高真空分析腔

1

2

冷场发射电子枪

1

3

电子光学透镜系统

1

4

超高真空泵组

1

5

高精度五轴全自动马达驱动样品台

1

6

样品传输和快速进样腔

1

7

减震平台

1

8

操作电脑(预装操作系统和数据采集软件,2个24寸显示屏)

1

9

紫外光源

1

10

带相差矫正功能

1










技术参数

1、 主分析腔真空≤2×10-10mbar,主分析腔和快速进样腔之间配有过渡腔,留有扩展接口,可用于后期与其它设备互联;

2、 *高精度5轴马达全自动驱动样品台,XYZ2Tilt方向全部马达驱动

3、 高通量放电汞灯一个,用于PEEM成像

4、 高温成像样品温度可达1500K;

5、 *磁偏转棱镜采用90°偏转,易于光路整体校正;

6、 *冷场发射电子枪,电子束斑直径200nm- 40μm,能量分布FWHM ≤0.3 eV;

空间分辨率<5nmLEEM模式),<10nmPEEM模式)

像差校正:LEEM空间分辨率优于3nm

7、 能量分辨率< 250 meV

8、 样品位置稳定性<5nm,再现性<500nm;

9、 软件能操控能量狭缝位置,可快速实现能量过滤成像




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