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当前位置：上海麦科威半导体技术有限公司>>离子注入机>> IMX-3500离子注入机/日本ULVAC
离子注入机/日本ULVAC介绍：
用于研究和开发的中电流离子注入机IMX-3500中电流离子注入机IMX-3500是一款最高能量为200kV、晶圆尺寸最大为8英寸的离子注入机，非常适合大学的研发。
特征：
最大晶圆尺寸为8英寸，配备可处理不规则形状基板的压板。
除了气体源之外，固体蒸发源也可用于易于安全处理B、P和As离子的离子源。
高压端子部分与量产设备配置相同，确保高可靠性。
离子注入机/日本ULVAC规格：
活力 | 30至200keV（可选3至200keV） |
最大束流 | 11B+ 400μA（200keV) |
最小束流 | 150纳安 |
离子种类 | B、P、As、Si、Ge、Sb、In |
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