法国AS-master 真空快速退火炉

标准温度范围室温 ~ 1450°C

室温 ~ 1450°C

真空获得系统

干泵(10-2Torr

分子泵(10-6Torr)

分子泵(10-6Torr)

load lock

尺寸/重量

510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg

可配loadlock

参考客户：

清华大学、北京大学、复旦大学、华南理工大学、天津中电十八所、南京中电五十五所、GE上海研发中心、南方科大、深圳大学等。

大尺寸样品快速退火炉

快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。

仪器特点：

  -  快速热处理、快速热退火  RTP / RTA；

  -  可在真空、甚至于高真空环境使用；

  -  广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm X 156mm电池片，300mm X 300mm电池片等；