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1近常壓XPS真空系統(tǒng)，包含分析腔和快速進(jìn)樣腔1.1 分析腔采用μ金屬腔體或不銹鋼腔體加消磁線圈1.2 分析腔配備分子泵以及前級(jí)泵，真空≤5×10-9...
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