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玉崎科学仪器（深圳）有限公司
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产品介绍
HORIBA堀场半导体紧凑型汽化系统玉科供应
HORIBA堀场半导体紧凑型汽化系统玉科供应
VC 系列
直接液体注入系统
VC 系列能够在无载气的情况下快速汽化纯水或其他液体源，组建更紧凑的汽化系统。
HORIBA 可为您提供由 VC 系列和您需要的所有其他组件组成的定制汽化系统：
一种用于流量测量的液体质量流量计
一种用于蒸气流量测量的高温质量流量控制器
阀门、过滤器、加热器等
尺寸紧凑
可安装在各种位置
畅销的 TEOS 汽化系统
结合 SEF 或 LF，可实现数字控制
无需特殊鼓泡罐或汽化罐
DeviceNetTM 型产品系列
符合 RoHS 标准
模型 | VC-1420 | ||
生成流量*1（TEOS生成时） | 最大5.0 CCM转化率（液相转化率） | ||
支持液体 | 工作，P(OCH3)3，C6F6 | ||
温度上升 | 最高150℃ | ||
产生的压力*1 | 减压 | ||
外部泄漏完整性 | 1.0×10-8帕·立方米/秒 | ||
内部泄漏完整性 | 1.0×10-6帕·立方米/秒 | ||
接触液体的材质 | 316L 不锈钢（抛光表面） | ||
内部加热器容量 | 交流 100V 至 120V 70W(35Wx2) | ||
使用的温度传感器 | K型热电偶（CA） | ||
耐压性 | 1.0MPa（气压） | ||
标准配件 | 液体入口：1/8 英寸 VCR 型外螺纹 气体出口：1/4 英寸 VCR 型内螺纹 | ||
*1 根据液体的种类而变化。 | |||
*CCM 是表示气体流速（25°C、101.3 kPa 时 mL/min）的符号。 | |||
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