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玉崎科学仪器（深圳）有限公司
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产品介绍
HOBIBA堀场 光纤式化学溶液浓度监测仪
HOBIBA堀场 光纤式化学溶液浓度监测仪
光纤式化学溶液浓度监测仪
CS-100F1 系列
基于光纤的在线实时化学品浓度监测器，可测量半导体制造过程（如清洁和蚀刻）中使用的化学品。
可以获得在线实时测量。单个浓度监测器能够同时测量多达四种类型（化学品或范围），使其适用于单个晶圆清洁中的测量。
| 型 | CS-151F1 系列 | CS-152F1 系列 | CS-150F1 型 |
|---|---|---|---|
测量对象 | SC-1 （氨/过氧化 氢水溶液） | SC-2 （盐酸/过氧化氢 水溶液） | SPM （硫酸/过氧化氢 水溶液） |
| 一个单元最多可提供 4 种化学溶液或范围的多重监测。 | |||
| 测量原理 | 吸收光谱法 | ||
| 浓度计算 原理 | 温度补偿多变量分析 | ||
| 测量范围 （质量 %） | H2O2： 0.00% 至 5.00% H2O： 94.0% 至 100.0% | HCI：0.00% 至 2.00% H2O2：0.00% 至 2.00% H2O： 96.0% 至 100.0% | H2所以4：70.0% 至 96.0% H2O2： 0.00% 至 10.00% H2O： 4.0% 至 30.0% |
| 重复性（质量 %） （±1% 室温内） | H2O2： ±0.30% H2O： ±1.5% | HCI：±0.15% H2O2： ±0.15 % H2O： ±1.5% | H2所以4：±0.50% H2O2：±0.50% H2O： ±1.5% |
| ?上述列表的重复性是针对单元类型的。请联系我们了解在线比色皿类型的可重复性。 ?根据测量范围，上述列表可能会有所不同。（详情请参阅我们的网站。 | |||
| 样品溶液温度 | 20 到 80：（使用 Inline Cell 时）20 到 30：（使用 Cell Unit 时） | ||
| 测量周期 | 约 3 秒 | ||
| LCD 和输入的内容 | • 第 1 个组件：测得的浓度值 （%） •错误代码 • 第 2 个组件：测得的浓度值 （%） •并联浓度警报输出无效状态 • 第 3 个组件：测得的浓度值 （%） •串行/并联状态 • 第 1 个和第 2 个组件：浓度警报状态 •背景补偿数据 | ||
| RS-232C 串行输入 | • 串行/并联状态切换 • 并联浓度报警输出状态 • 测量数据传输请求（有效/无效） • 第 1 组分和第 2 组分浓度报警设置 • 目标测量溶液切换 | ||
| 并行输入 | 12 至 30 V DC（光电耦合器绝缘） • 并联浓度报警输出 • 目标测量溶液切换 • 背景补偿 | ||
| 并行输出 | 集电极开路输出（光电耦合器绝缘） • 第一成分浓度报警，4种 开启时 最大电流： • 第二成分浓度报警，4种DC 5 mA（无内部?；さ缱瑁?• 设备错误 关闭时最大外加电压：30 V DC • 测量 • 目标测量溶液类型 • 背景补偿状态 | ||
| 溶液温度输入 | 接线端子连接（M3 端子螺钉） • 铂电阻温度传感器：Pt100（Pt100 传感器应由客户准备） | ||
| 模拟输出 | • 第 1 组分浓度警报，4 种类型：4 至 20 mA • 第 2 组分浓度警报，4 种类型：4 至 20 mA ?我们还支持其他测量范围。请在订购时注明。 | ||
| 光缆 | 专用 CS-100F1 系列光缆（25 ±15：安装温度） | ||
| 样品池 | 我们可以为各种化学溶液提供专用样品池（在线池或池单元）。 | ||
| 电源 | 100 V 至 230 V AC（单相）±10%、50/60 Hz、约 100 VA | ||
| 尺寸 | 205 （W） x 329 （D） x 269 （H） mm 8.1 （W） x 13.0 （D） x 10.6 （H） 英寸（不包括突出部分） | ||
| 重量 | 约 11 kg | ||
