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使用低能量Ar离子束，加工无应力损伤的样品截面，为SEM观察样品的内部多层结构、结晶状态、异物解析、层厚测量等提供有效的样品前处理方法?；虺パ繁聿悖庸こ龅退鹕似矫?。

离子研磨仪标准机型能够进行截面研磨和平面研磨?；箍赏ü臀驴刂萍罢婵兆频雀髦盅∨涔δ?，针对不同样品进行截面研磨。

┃ 设备特点

• 高效研磨

配备截面研磨能力达到500µm/h*1以上的高效率离子枪。即使是硬质材料，也可以高效地制备出截面样品

• 截面研磨

即使是由不同硬度以及研磨速度材质所构成的复合材料，也可以制备出平滑的研磨面

优化加工条件，降低因离子束所致样品的损伤

可装载20mm(W)×12mm(D)×7mm(H)的样品

• 平面研磨

直径约为5mm范围内的均匀加工

应用领域广泛

可装载直径50mm×高度25mm的样品

可选择旋转和摆动（±60度，±90度的摆动）2种加工方法