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PICOSUN P-300B型原子层沉积系统

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更新时间：2025-05-11 21:00:21

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电镜样品制备: 离子研磨仪镀膜仪热蒸发镀碳仪离子溅射仪精密离子减薄仪凹坑研磨仪研磨抛光机振动抛光机

薄膜、块体样品制备: 真空封管机系统水焊机(布朗气焊接机) 静电纺丝匀胶机流延机 ALD原子层沉积设备 PLD脉冲激光沉积系统 PVD物理气相沉积设备 CVTD材料气相生长输运与沉积系统

晶体样品制备: 光学浮区炉

粉末样品制备: 喷雾干燥器

器件样品制备: 3D打印设备

样品处理系统: 惰性气体手套箱系统亚克力手套箱手套箱蒸镀一体机有机溶剂净化系统

测试仪表: 锁相放大器数字源表示波器皮安表阻抗分析仪 LCR表

分析表征设备: 形貌成分表征粒度分析色谱分析仪光谱分析仪表面性能分析

测试设备: 力学测试设备电学测试设备电化学测试设备热学测试设备光学测试设备磁学测试设备声学测试设备

实验室通用辅助设备: 真空设备气源设备温控设备称量设备研磨设备样品保存设备清洗系统电源设备减震台配件、材料和耗材

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产品简介详细介绍

PICOSUN®P-300BALD系统是专为生产MEMS设备(例如打印头，传感器和麦克风)以及各种3D物品(例如机械零件，玻璃或金属薄板，硬币，手表零件和珠宝，镜片，光学器件以及医疗设备和植入物

PICOSUN®P-300B ALD 系统是专为生产 MEMS 设备(例如打印头，传感器和麦克风) 以及各种3D 物品(例如机械零件，玻璃或金属薄板，硬币，手表零件和珠宝，镜片，光学器件以及医疗设备和植入物。

该系统已经成为高产能ALD制造业的新标准。拥有的热壁、独立的前驱体管路和特殊的载气设计，确保我们可以生产出具有优异的成品率、低颗粒水平和的电学和光学性能的高质量ALD薄膜。高效紧凑的设计使得维护更加方便、快捷，限度的减少了系统的维护停工期和使用成本。拥有技术的Picoflow™使得在超高深宽比结构上沉积保形性薄膜更高效，并已在生产线上得到验证。

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