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UL1000Fab氦气检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空泄漏检测的标准。

通过仪器的干式泵技术，可以消除被测部件或设备被碳氢化合物或颗粒污染的可能性。UL1000FAB在高性能、超高稳健性和经济性之间提供了的性价比。它提供的10-12mbar·l/s检测极限，具备合理的短抽气时间和响应时间的特点。紧凑的设计提供了高度的机动性，方便进入空间有限的维修区域。可选的背景本底抑制（iZERO）功能能够在2秒内实现低于现有背景本底水平状态持续进行泄漏测试。

┃ 典型应用

• 对清洁度要求严苛的工业真空设备制造

• 在将真空组件或子组件安装到现有工具中之前

• 真空工具的维护工作，无论是否有泵的支持

• 工艺气体系统的检查和安装

• 半导体、平板显示器或太阳能电池制造

┃ 设备特点

• 通过缩短抽气时间和响应时间加快泄漏检测工作

• 通过使用可选的背景抑制（izero），避免需要进行多次泄漏测试

• 通过紧凑的设计方便进入空间有限的维护区域

• 通过耐用的两个热丝离子源（三年保修）和逆流式真空系统实现低拥有成本(TCO)

• 通过可旋转显示、声音和灯光泄漏提示以及可选的远程控制降低应用难度

• 通过内置泄漏测试和自动校准程序实现低成本维护