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平替進口HORIBA氣體流量計 MFC300 產(chǎn)品采用單電源供電(15~40VDC)；可模擬 量和數(shù)字通訊（CAN、RS485、RS232）顯示和控制氣體流 量，可以直接跟本公司的 MFC 控制器配合使用，也可以 直接連電腦通訊，并通過數(shù)字通訊改變控制流量或通訊 設(shè)置；也可以連二次儀表顯示；具有多氣體測量，高精 度，高穩(wěn)定性，極低零漂特性。

MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

產(chǎn)品特點

超快響應(yīng)：5ms 測量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性，寬量程比

更小體積，安裝方便

無需預(yù)熱，使用便捷

分階流量控制軟件，靈活配置

主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥無腐蝕性氣體

氣體種類  Air，N2，02，Ar，CH4，CO2

測量和控制范圍  0.2%-100%F.S. （1:500）

準確度  ±0.5%F.S.

重復(fù)精度  ±0.5%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）

傳感器響應(yīng)時間  5ms

控制響應(yīng)時間  300ms

預(yù)熱時間  ≤1s

閥門  常閉式