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微小气体质量流量控制器MFC300 系列气体质量流量计/控制器，该系列采用 MEMS 流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。
产品特点
超快响应：5ms 测量响应，300ms控制响应
高重复性，宽量程比
更小体积，安装方便
无需预热，使用便捷
分阶流量控制软件，灵活配置
主要参数
介质要求 洁净干燥无腐蚀性气体
气体种类 Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
测量和控制范围 0.2%-100%F.S. （1:500）
准确度 ±0.5%F.S.
重复精度 ±0.5%F.S.
线性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可?。?/p>
传感器响应时间 5ms
控制响应时间 300ms
预热时间 ≤1s
阀门 常闭式
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