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江蘇氣體質(zhì)量流量計(jì)的MFM/MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，產(chǎn)品基于毛細(xì)管柱熱式原理，主 要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確測(cè)量和控制。 MFM/MFC330 系列氣體質(zhì)量流量控制器具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好、工作壓力范圍 寬、極低零漂等特點(diǎn)。模擬量和數(shù)字量等多種通訊方式可選，內(nèi)置顯示屏可選，操作配置靈活。 MFM/MFC330廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、特種材料學(xué)科、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等行業(yè)的氣流 測(cè)量和控制。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、 離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀、光譜儀、 質(zhì)譜儀及其它分析儀器。

標(biāo)準(zhǔn)狀況的定義 氣體質(zhì)量流量通常用標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量來表示，由于標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下氣體的密度是一個(gè)常數(shù)， 該密度乘以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積就是質(zhì)量數(shù)。所以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。 質(zhì)量流量單位為： SCCM： 標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘；SLPM： 標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘 標(biāo)準(zhǔn)狀況定義為： 溫度 20℃（293.15K）；氣壓 1 atm（101.325Kpa，760mmHg） 單位 SCCM 等同于“mL/min, 20℃, 1atm)，單位 SLPM 等同于“L/min, 20℃, 1atm) 氣體質(zhì)量流量計(jì)/流量控制器出廠通常用 N2 氮?dú)鈽?biāo)定，亦可按照用戶要求的氣體來進(jìn)行特標(biāo)。 MFC/MFM 的標(biāo)準(zhǔn)安裝方式為水平安裝，其他安裝方式請(qǐng)聯(lián)系廠家獲取技術(shù)支持。

4 主要技術(shù)指標(biāo) MFC33